[发明专利]一种柔性显示面板及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910747074.4 申请日: 2019-08-14
公开(公告)号: CN110556405B 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 卢瑞;尹雪兵 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L21/77;H01L21/82
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 显示 面板 及其 制备 方法
【说明书】:

发明揭露一种柔性显示面板及其制备方法,通过在挡墙角落处的无机膜层的应力集中区域填充保护膜,可有效减缓挡墙侧壁的坡度,在一定程度上减小上层封装结构中无机膜层的应力集中作用,保护膜在受到应力作用时,可有效缓释应力,削弱甚至消除挡墙角落处封装结构对阳极层的应力作用。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板及其制备方法。

背景技术

随着OLED(Organic Light Emitting Diode,有机发光二极管)显示技术的快速发展,推动曲面和柔性显示产品迅速进入市场,相关领域技术更新也是日新月异。OLED器件是利用有机发光材料在电场驱动下,通过载流子注入和复合导致发光的二极管器件。OLED器件因其重量轻、厚度薄、可弯曲、视角范围大等优势,受到了广泛关注。

由于OLED器件的发光材料对水氧十分敏感,少量的水氧入侵即会造成器件的快速衰减及老化,从而影响其寿命。有效的阻隔外界水氧对OLED器件的破坏,以保证OLED柔性显示面板具有较长的使用寿命,其封装技术尤为重要。

现有的薄膜封装(TFE)设计,一般采用无机/有机膜层堆叠结构来达到阻隔水氧的目的。其中,无机膜层主要作用是阻隔水氧,一般由化学气相沉积(Chemical VaporDeposition,CVD)工艺或原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)工艺制备;有机膜层主要起使基板表面平坦化、包覆住污染颗粒(particle)及缓释应力的作用,一般由喷墨打印(Inkjet Printing,IJP)工艺或原子层沉积工艺制备。为了防止有机膜层流出无机膜层的覆盖区域,一般会在显示面板的显示区(Active Area,简称AA)外围设计一个或多个挡墙(Dam)。

请参阅图1,现有OLED显示面板部分层状结构剖视图。所述OLED显示面板包括一TFT(薄膜晶体管)阵列基板11、形成于所述TFT阵列基板11上的发光器件层12,围绕所述发光器件层12的边缘设置的一挡墙13以及形成于所述发光器件层12上的封装结构14。

所述TFT阵列基板11包括一TFT阵列层111、形成于所述TFT阵列层111上的一平坦化层(PLN)112。所述TFT阵列层111为所述OLED面板的驱动电路,是显示面板的重要组成部分;所述平坦化层112主要起平整所述TFT阵列基板11上因各种不同层图案所造成的面内段差,以及隔离TFT与发光器件层、防止电场干扰的作用。

所述发光器件层12包括依次层叠设置的一阳极(ANO)层121,一像素定义(PDL)层122,一发光材料层123以及一阴极层(未示于图中)。所述阳极层121采用一第一ITO层1211/一Ag层1212/一第二ITO层1213夹层结构。所述发光材料功能层123制备在所述像素定义层122所定义的区域。

所述挡墙13用于防止所述封装结构14中的有机膜层材料流出无机膜层的覆盖区域。

所述封装结构14包括:覆盖所述挡墙13、所述发光器件层12以及所述TFT阵列基板11的一第一无机膜层141、沉积在所述第一无机膜层141之上的第一有机膜层142、覆盖所述第一有机膜层142、所述第一无机膜层141的第二无机膜层143。

请参阅图2,现有OLED显示面板阳极层产生剥落现象示意图,图中阳极层121上的箭头示意应力方向。在实际的OLED显示面板封装可靠性试验中,发现经过所述封装结构14封装后,所述阳极层121的第二ITO层1213与Ag层1212之间易在挡墙的角落处产生剥落现象(peeling)201,即挡墙角落处的所述阳极层121自身会产生剥离,进而导致封装失效。分析原因如下:

1)无机膜层的应力集中作用:因挡墙为阻挡有机膜层溢出,一般高度较高,且挡墙处的封装膜层仅有无机膜层,无应力缓释作用,这就导致在挡墙角落处应力较大,较大的应力会将上层ITO层抓起,从而导致上层ITO层与Ag层剥离,产生剥落现象,这也是阳极层发生剥落现象的主要因素;

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