[发明专利]临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法

说明书

本发明公开一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法。临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统。控制系统包括一智能图像识别单元、一处理单元及一远程操作单元。智能图像识别单元用以提取一屏幕画面，并自动辨识一警告事件的类型。处理单元用以在屏幕画面的一显示区域自动搜寻一目标图案。若在屏幕画面的显示区域自动搜寻到目标图案，则远程操作单元自动移动目标图案至显示区域的中心。

技术领域

本发明涉及一种控制系统与控制方法，且特别涉及一种临界尺寸扫描电子显微镜(critical dimension scanning electron microscope，CD-SEM)的控制系统与控制方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，各式精密电路芯片不断推陈出新。在半导体制造过程中，每一道工艺的质量都必须严格控管，以避免影响产品良率。

半导体工艺可以采用临界尺寸扫描电子显微镜(critical dimension scanningelectron microscope，CD-SEM)来监测电路图形是否符合预定标准。然而，由于芯片的电路图形相当复杂，人员在操作临界尺寸扫描电子显微镜必须不断搜寻目标图案、或是进行焦距调整的动作。这些动作不仅容易出错，而且相当耗费人力与时间。因此，如何让临界尺寸扫描电子显微镜的操作更加便利，已成为半导体业界相当重视的一项研发方向。

发明内容

本发明涉及一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法，其可以自动控制临界尺寸扫描电子显微镜，而无须人工操作即可完成检测作业，让临界尺寸扫描电子显微镜的操作更加便利。

根据本发明的第一方面，提出一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统。控制系统包括一智能图像识别单元、一处理单元及一远程操作单元。智能图像识别单元用以提取一屏幕画面，并自动辨识一警告事件的类型。处理单元用以在屏幕画面的一显示区域自动搜寻一目标图案。若在屏幕画面的显示区域自动搜寻到目标图案，则远程操作单元自动移动目标图案至显示区域的中心。

根据本发明的第二方面，提出一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制方法。控制方法包括以下步骤。提取一屏幕画面。自动辨识一警告事件的类型。在屏幕画面的一显示区域自动搜寻一目标图案。若在屏幕画面的显示区域自动搜寻到目标图案，则自动移动目标图案至显示区域的中心。

为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合附图详细说明如下：

附图说明

图1绘示根据一实施例的临界尺寸扫描电子显微镜(critical dimensionscanning electron microscope，CD-SEM)的控制系统的示意图。

图2绘示根据一实施例的临界尺寸扫描电子显微镜的控制方法的流程图。

图3示例说明图2的步骤S101、S103、S105、S107、S109、S110、S115。

图4示例说明图2的步骤S103、S117、S119、S121、S123、S125、S127、S107、S109、S115、S110。

图5绘示已执行对焦调整程序的显示区域的示意图。

图6示例说明图2的步骤S101、S103、S105、S107、S109、S110、S111、S113、S115。

图7示例说明已执行数值测量的显示区域。

具体实施方式