[发明专利]一种硅片检测工装在审
| 申请号： | 201910749562.9 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112387605A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 | 申请（专利权）人： | 江苏金晖光伏有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/342;B07C5/36 |
| 代理公司： | 扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315 | 代理人： | 张琳 |
| 地址： | 225600 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 工装 | ||
1.一种硅片检测工装，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的一侧设置有检测底座(2)，所述机架(1)靠近检测底座(2)一侧的外壁开设有滑动槽，所述检测底座(2)侧面固定连接有连接板(6)，所述连接板(6)位于机架(1)的内腔中，所述连接板(6)的上方固定安装有微型吹气泵(5)，所述机架(1)的侧面设置有位于检测底座(2)上方的检测头(9)，所述机架(1)的底面固定安装有光源(13)，所述检测底座(2)的底部固定连接有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)远离检测底座(2)的一端固定连接在机架(1)的底面上，所述检测底座(2)的两侧设置有支撑杆(3)，所述支撑杆(3)的中部固定套接有移动杆(16)，所述移动杆(16)的一端设置有拨块(4)，所述移动杆(16)另一端的侧面固定连接有底板(14)和气囊(15)，所述气囊(15)靠近移动杆(16)的一端固定连接有风管(7)，所述风管(7)位于移动杆(16)的内腔中，所述风管(7)远离气囊(15)的一端与微型吹气泵(5)的出风口固定套接，所述机架(1)的侧面设置有观察镜(10)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于：所述底板(14)的材质为橡胶，所述底板(14)的表面设置有凸起点。
3.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于：所述检测底座(2)的材质为透明钢化玻璃，所述机架(1)的侧面设置有亮度旋钮和高度旋钮(12)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于：所述风管(7)靠近微型吹气泵(5)的一端设有电磁阀(8)，所述气囊(15)的内部固定安装有气压传感器(17)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于：所述底板(14)和气囊(15)分别位于移动杆(16)侧面的两端，所述底板(14)和气囊(15)之间留有缝隙。
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