[发明专利]一种高反射镜面形的测量装置在审
| 申请号： | 201910751630.5 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110455501A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 宋治平 | 申请（专利权）人： | 南京茂莱光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 李倩<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 211102江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 标准镜 分光片 被测镜 分光膜 反射 表面反射 准直仪 返回 光源 测量装置 高反射镜 光束通过 光线通过 点光源 平行光 前表面 强度比 入射光 相干光 两路 面形 平行 穿过 干涉 转换 | ||
【权利要求书】：
1.一种高反射镜面形的测量装置，其特征在于：包括光源、分光片、准直仪、标准镜以及CCD成像系统；标准镜的前表面镀有分光膜；光源发出的光束通过分光片后由准直仪将入射光照射在标准镜上，入射光Io在经过标准镜时，一部分光线由镀有分光膜的标准镜反射返回，得到标准反射光线IR，另一部分光线通过标准镜后到达被测镜表面，由被测镜表面反射回来后再透过标准镜得到测量反射光线It，标准反射光线IR与测量反射光线It形成干涉光线返回至分光片，通过分光片反射后进入CCD成像系统，两路相干光的强度比It/IR为0.2～1。
2.根据权利要求1所述的高反射镜面形的测量装置，其特征在于：所述分光片与水平面的夹角为45°。
3.根据权利要求1所述的高反射镜面形的测量装置，其特征在于：当被测镜镜面的反射率在60％～100％之间时，分光膜位于玻璃侧的反射率为25％Io，分光膜位于空气侧的反射率为零，分光膜的透过率为50％Io。
4.根据权利要求1所述的高反射镜面形的测量装置，其特征在于：分光膜的厚度为10～20nm。
5.根据权利要求1所述的高反射镜面形的测量装置，其特征在于：准直仪将光源发出的点光源转换成平行光照射在标准镜上。
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