[发明专利]一种热场稳定的单晶炉

权利要求书

1.一种热场稳定的单晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)的顶部固定安装有上炉(11)，所述炉体(1)内腔的底面固定安装有籽晶杆固定装置(12)，所述籽晶杆固定装置(12)的底部固定安装有籽晶杆(121)，所述炉体(1)内腔的底部活动套装有轴杆(13)，所述轴杆(13)的顶部固定安装有轴座(131)，所述轴座(131)的顶部固定安装有导温容器(14)，所述导温容器(14)的外部活动套装有加热电阻丝圈(15)，所述加热电阻丝圈(15)的内腔填充有石英沙层(16)，所述石英沙层(16)的中部放置有石英坩埚(17)，所述石英坩埚(17)的顶部活动连接有保温罩(18)，其特征在于：所述保温罩(18)外圈的中部固定套装有环形磁铁(2)，所述炉体(1)的内壁固定安装有磁力环(21)，所述磁力环(21)的形状为由若干个电磁铁(212)围成的多微元的圆环状，所述磁力环(21)与炉体(1)内壁之间形成的角为锐角，所述环形磁铁(2)上升的最高处与磁力环(21)的高度一致，所述环形磁铁(2)与磁力环(21)之间侧面的磁极相同。

2.根据权利要求1所述的一种热场稳定的单晶炉，其特征在于：所述电磁铁(212)的外部包裹有隔离套(211)。

3.根据权利要求3所述的一种热场稳定的单晶炉，其特征在于：所述隔离套(211)为非磁性金属材料，所述隔离套(211)靠近环形磁铁(2)的侧面设有开口。

4.根据权利要求1所述的一种热场稳定的单晶炉，其特征在于：所述石英坩埚(17)顶部的边缘放置有位于石英沙层(16)顶面的稳定圈，且稳定圈的顶部开设有凹槽，所述保温罩(18)的底部焊接有与凹槽相适配的凸块，且凸块的材料为耐高温受热膨胀金属。