[发明专利]一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法

权利要求书

1.一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1：根据待切割光学玻璃微透镜的材料，选择同光学玻璃微透镜材料的折射率相同或相近的折射率匹配液；其典型的折射率匹配液组成成分为水和亚甲基碘氟化物；

步骤2：将折射率匹配液放置于开口容器内，根据待切割分离光学玻璃微透镜的整体结构和表面微结构尺寸，选择合适的折射率匹配液深度，并将光学玻璃微透镜水平放置于折射率匹配液内；

步骤3：开启激光切割装置，采用连续/脉冲激光，将激光焦点经过折射率匹配液入射至光学玻璃微透镜材料内部，并使材料吸收激光能量，在光学玻璃微透镜内部产生高温区域，移动激光焦点，从而完成切割分离。

2.根据权利要求1所述的折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：所述步骤2中，折射率匹配液的深度大于待切割光学玻璃微透镜的高度，且应尽可能浅从而避免折射率匹配液吸收过多的激光能量。

3.根据权利要求1所述的折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：所述步骤3中的激光切割装置包括激光器，所述激光器通过光纤连接有光纤耦合器，所述光纤耦合器连接有激光扩束镜，所述激光扩束镜正下方同轴设置有聚焦镜，所述聚焦镜能够上下运动；所述聚焦镜下方设置有开口容器，所述开口容器能够水平运动。

4.根据权利要求3所述的折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：所述聚焦镜连接有Z轴运动机构，所述开口容器固定设置于三维运动平台上；所述Z轴运动机构和三维运动平台分别电连接有控制器。