[发明专利]一种蚀刻液循环再利用工艺

权利要求书

1.一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、对酸性含铜蚀刻废液进行一次双氧水处理，使废液中的一价铜转化为二价铜；

步骤二、在中和反应罐中对酸性含铜蚀刻废液和碱性含铜蚀刻废液进行酸碱中和处理；

步骤三、通过压滤机对中和处理后的溶液进行压滤，生成滤饼和滤液；

步骤四、通过打浆机对压滤产生的滤饼进行滤饼打浆；

步骤五、在酸溶解反应釜中对打浆产生的溶液加入质量分数为98％的硫酸进行酸溶解反应，生成硫酸铜、水和盐酸，然后冷却酸溶解反应釜；

步骤六、硫酸铜溶液进入结晶池结晶；

步骤七、通过离心脱水机对硫酸铜结晶和水进行离心脱水处理，产生无水硫酸铜和硫酸铜母液，离心脱水机脱出的硫酸铜母液通过硫酸铜母液循环装置进行分流，低含氯硫酸铜母液输送到打浆机，离心脱水机脱出的高含氯硫酸铜母液输送到中和反应罐；

步骤八、在滤液沉淀池中对压滤工序产生的滤液进行沉淀，沉淀物输送到压滤机；

步骤九、将滤液输送到离子交换池，通过离子交换柱进行离子交换；

步骤十、经过离子交换后产生的废液输送到搅拌桶中，投入适量氯化钠和氯化铵后搅拌使其充分混合溶解，生产结束后，分别将蚀刻子液和退锡水泵入储罐；

步骤十一、通过盐酸对离子交换柱进行反洗再生，产生的再生废水输送到中和反应罐。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，在步骤九和步骤十之间，还包括有以下步骤：

步骤9.1、将滤液泵入到曝气式离子交换装置中，对经过一次离子交换后产生的滤液进行二次双氧水处理，使滤液中的一价铜转化为二价铜；

步骤9.2、通过曝气去除多余的H₂O₂；

步骤9.3、进行二次离子交换。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，步骤三中的硫酸铜母液循环装置包括有循环罐(1)、移液机构(2)、进液管(3)、第一出液管(4)、第二出液管(5)和循环装置控制器，循环罐(1)内设置有将循环罐(1)分隔成第一罐腔和第二罐腔的分隔机构(1a)，分隔机构(1a)的顶端和循环罐(1)的内壁顶端不接触；

移液机构(2)的输入端与第一罐腔的底端连通，移液机构(2)的输出端和第二罐腔的顶端连通，移液机构(2)的输出端高度低于分隔机构(1a)的高度，循环罐(1)和移液机构(2)的连接处安装有第一电磁阀(1b)；

离心脱水机通过进液管(3)和第一罐腔的顶端连通；

第二罐腔的底端通过第一出液管(4)和打浆机连通，循环罐(1)和第一出液管(4)的连接处安装有第二电磁阀(4a)；

第二罐腔的底端通过第二出液管(5)和中和反应罐连通，循环罐(1)和第二出液管(5)的连接处安装有第三电磁阀(5a)；

第一电磁阀(1b)、第二电磁阀(4a)和第三电磁阀(5a)均与循环装置控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，移液机构(2)包括有移液管(2a)和安装在移液管(2a)中端的液泵(2b)，移液管(2a)的两端分别和第一罐腔的底端及第二罐腔的顶端连通，液泵(2b)和循环装置控制器电连接。

5.根据权利要求3所述的一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，进液管(3)上安装有第一流量计，移液机构(2)上安装有第二流量计，第一流量计、第二流量计均与循环装置控制器电连接。

6.根据权利要求3所述的一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，第二罐腔内安装有氯离子传感器，氯离子传感器与循环装置控制器电连接。

7.根据权利要求3所述的一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，分隔机构(1a)包括有分隔环(1a1)和通气管(1a2)，分隔环(1a1)设置在循环罐(1)内部的中端，分隔环(1a1)为开口朝上并且底部开孔的碗形，通气管(1a2)为沿着分隔环(1a1)开孔边缘竖直向上延伸的圆筒形状。