[发明专利]一种光刻投影物镜及光刻机

权利要求书

1.一种光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜由沿光轴且由物面指向像面顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组和第四透镜组组成；所述第一透镜组的焦距为f₁，所述第二透镜组的焦距为f₂，所述第三透镜组的焦距为f₃，所述第四透镜组的焦距为f₄，f₁、f₂、f₃和f₄满足关系式一或者关系式二；

关系式一为：3.50＜|f1/f2|＜4.50，1.35＜|f2/f3|＜1.75，

0.10＜|f3/f4|＜0.50，1.45＜|f1/f4|＜1.85；

关系式二为：3.20＜|f1/f2|5.10，0.25＜|f2/f3|＜0.75，

0.01＜|f3/f4|＜0.30，0.05＜|f1/f4|＜0.40；

所述光刻投影物镜包括非球面透镜，且所述非球面透镜的数量小于或者等于4个，一个所述非球面透镜包括一个非球面表面；

f₁、f₂、f₃和f₄满足关系式一时；

所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组和所述第四透镜组均具有正的光焦度；

所述第一透镜组由沿光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜和第八透镜组成；所述第一透镜和所述第七透镜为双凸正透镜，所述第二透镜为平凸正透镜，所述第三透镜和所述第六透镜为双凹负透镜，所述第四透镜和所述第五透镜为弯月负透镜，所述第八透镜为弯月正透镜；

所述第二透镜组由沿光轴顺次排列的第九透镜、第十透镜和第十一透镜组成，所述第九透镜为双凸正透镜，所述第十透镜为弯月正透镜，所述第十一透镜为双凹负透镜；

所述第三透镜组由沿光轴顺次排列的第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜、第十六透镜、第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜和第二十透镜组成，所述第十二透镜和所述第二十透镜为双凹负透镜，所述第十三透镜为弯月负透镜，所述第十四透镜、所述第十五透镜、所述第十六透镜、所述第十八透镜和所述第十九透镜为双凸正透镜，所述第十七透镜为平凹负透镜；

所述第四透镜组由沿光轴顺次排列的第二十一透镜和第二十二透镜组成，所述第二十一透镜为平凹负透镜，所述第二十二透镜为平凸正透镜；

f₁、f₂、f₃和f₄满足关系式二时；

所述第一透镜组、所述第三透镜组和所述第四透镜组均具有正的光焦度，所述第二透镜组具有负的光焦度；

所述第一透镜组由沿光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜组成，所述第一透镜和所述第五透镜为双凸正透镜，所述第二透镜和所述第六透镜为弯月正透镜，所述第三透镜为双凹负透镜，所述第四透镜为弯月负透镜；

所述第二透镜组由沿光轴顺次排列的第七透镜、第八透镜和第九透镜组成，所述第七透镜和所述第八透镜为双凹负透镜，所述第九透镜为弯月负透镜；

所述第三透镜组由沿光轴顺次排列的第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜和第十六透镜组成，所述第十透镜和所述第十二透镜为弯月正透镜，所述第十一透镜、所述第十四透镜和所述第十六透镜为双凸正透镜，所述第十三透镜为平凸正透镜，所述第十五透镜为双凹负透镜；

所述第四透镜组由沿光轴顺次排列的第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜、第二十透镜和第二十一透镜组成，所述第十七透镜为双凹负透镜，所述第十八透镜和所述第二十一透镜为平凹负透镜，所述第十九透镜和所述第二十透镜为双凸正透镜。

2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组和所述第四透镜组均包括一个所述非球面透镜。

3.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述非球面表面设置于所述非球面透镜的凹面上。