[发明专利]消激光散斑装置及扫描投影设备

权利要求书

1.一种消激光散斑装置，其特征在于，所述消激光散斑装置包括：非偏振分束器(110)、偏振态转换机构(120)、偏振合束器(130)；所述非偏振分束器(110)用于将呈第一偏振态的入射光分束成第一子光束(141)和第二子光束(142)；所述第一子光束(141)能够射入所述偏振合束器(130)，所述第二子光束(142)能够穿过所述偏振态转换机构(120)后射入所述偏振合束器(130)；所述偏振合束器(130)用于将第一子光束(141)和第二子光束(142)合束；

所述偏振态转换机构(120)包括与入射光的波长对应的半波片(122)，用于将经过所述半波片(122)的第二子光束(142)由第一偏振态转变为第二偏振态，所述第一偏振态和第二偏振态中，其一为p偏振态，另一为s偏振态；

所述第二子光束(142)所走过的路径的长度与所述第一子光束(141)所走过的路径的长度的差值大于所述入射光的相干长度。

2.根据权利要求1所述的消激光散斑装置，其特征在于，所述偏振态转换机构(120)包括：第一反射结构(121)和第二反射结构(123)；

所述第一反射结构(121)位于所述第二子光束(142)的传播路径上，且所述第一反射结构(121)朝向所述非偏振分束器(110)和第二反射结构(123)，以使第二子光束(142)反射向第二反射结构(123)；

所述第二反射结构(123)朝向所述第一反射结构(121)和偏振合束器(130)，以使第二子光束(142)反射向偏振合束器(130)；

所述半波片位于所述第一反射结构(121)和第二反射结构(123)之间。

3.根据权利要求2所述的消激光散斑装置，其特征在于，所述偏振态转换机构(120)的数量为n个，n为大于等于2的整数，n个偏振态转换机构(120)沿远离所述非偏振分束器(110)的方向逐一间隔排列；

沿远离所述非偏振分束器(110)的方向，

n个第一反射结构(121)的编号分别为m₁、m₂、m₃……m_n；

n个第二反射结构(123)的编号分别为k₁、k₂、k₃……k_n；

n个半波片(122)的编号分别为b₁、b₂、b₃……b_n，且分别与编号为b₁、b₂……b_n的半波片(122)对应的不同波长的激光分别为LD₁、LD₂、LD₃……LD_n激光；

所述编号为m₁的第一反射结构(121)和编号为k₁的第二反射结构(123)能够反射LD₁激光，且透射LD₂～LD_n激光；

所述编号为m₂的第一反射结构(121)和编号为k₂的第二反射结构(123)能够反射LD₂激光，且透射LD₃～LD_n激光；

以此类推；

所述编号为m_n-1的第一反射结构(121)和编号为k_n-1的第二反射结构(123)能够反射LD_n-1激光，且透射LD_n激光；

所述编号为m_n的第一反射结构(121)和编号为k_n的第二反射结构(123)能够反射LD_n激光；

以使包含有LD₁、LD₂、LD₃……LD_n激光的第二子光束(142)能够依次经过n个第一反射结构(121)，且LD₁、LD₂、LD₃……LD_n激光被逐一反射分离，n第二反射结构(123)能够将被分离的LD₁、LD₂、LD₃……LD_n激光合束并反射进入偏振合束器(130)。