[发明专利]电光波导元件以及光模块

权利要求书

1.一种电光波导元件，其特征在于，具备槽波导，该槽波导具有：

分别具有导电性并设置间隙而对置配置的第一折射率的下部高折射率层和第二折射率的上部高折射率层；

槽部，其由比所述第一折射率和所述第二折射率低的第三折射率的低折射率层形成，并与所述下部高折射率层和所述上部高折射率层接触而设置在所述间隙中，所述低折射率层是由产生电光效应的材料构成的层，

其中，所述下部高折射率层和所述上部高折射率层中的至少一方具有关于与所述槽波导的传输方向交叉的宽度方向向与所述槽部的接触部分的两侧伸出的伸出部，并且

其中，所述下部高折射率层和所述上部高折射率层中的另一方具有在所述宽度方向的截面形状上与各所述伸出部对置的部分，

下部高折射率层的下部接触区域，其具有比所述下部高折射率层的电阻低的电阻，并将该下部高折射率层和下部电极电连接；以及

上部高折射率层的上部接触区域，其具有比所述上部高折射率层的电阻低的电阻，并将该上部高折射率层和上部电极电连接，

所述上部接触区域在所述宽度方向在与上述槽部之间具有间隔的第一位置与所述上部高折射率层接触，并且

所述下部接触区域在所述宽度方向在与上述槽部之间具有间隔的第二位置与所述下部高折射率层接触。

2.根据权利要求1所述的电光波导元件，其特征在于，

所述下部高折射率层和所述上部高折射率层分别具有所述伸出部，所述下部高折射率层的所述伸出部和所述上部高折射率层的所述伸出部具有相互对置的部分。

3.根据权利要求2所述的电光波导元件，其特征在于，

所述槽部是具有与该槽部对应的宽度并沿所述传输方向延伸的带状的所述低折射率层，

所述下部高折射率层和所述上部高折射率层的所述间隙在与所述槽部的所述接触部分和其两侧的所述伸出部相等。

4.根据权利要求3所述的电光波导元件，其特征在于，

在所述伸出部对置的所述间隙中配置包覆层，所述包覆层与构成所述槽部的所述低折射率层的两侧面相接且折射率低于该低折射率层。

5.根据权利要求2所述的电光波导元件，其特征在于，

在所述下部高折射率层和所述上部高折射率层的每个中，与所述槽部的所述接触部分形成为相互对置并在所述传输方向上延伸的肋型。

6.根据权利要求5所述的电光波导元件，其特征在于，

所述低折射率层具有比所述槽部大的宽度，

在所述伸出部与所述低折射率层对置的间隙中配置折射率比该低折射率层低的包覆层。

7.根据权利要求1所述的电光波导元件，其特征在于，所述下部接触区域包括所述下部高折射率层的高掺杂部分，并且

所述上部接触区域包括所述上部高折射率层的高掺杂部分。

8.根据权利要求1所述的电光波导元件，其特征在于，

所述下部高折射率层和所述上部高折射率层的与所述槽部的所述接触部分相互平行地对置，

所述伸出部的横向的尺寸被确定为，关于被施加电压而在所述下部高折射率层和所述上部高折射率层之间产生的电场，将与所述槽部的所述宽度方向的中央部相比的在端部处的电场强度的降低率设为规定的允许值。

9.一种光模块，其特征在于，具备：

权利要求1所述的电光波导元件；

光源，与所述电光波导元件光学连接；以及

媒介，传输透过所述电光波导元件的光。