[发明专利]一种干燥设备

说明书

本发明提供一种干燥设备，包括：箱体，箱体内限定有一侧开口的腔室；箱门，箱门设在箱体上以开启或封闭腔室；储存架，储存架可移动地设在腔室中，储存架上有用于盛放游星轮的容纳腔；湿温传感器，用于感测腔室中的温度和湿度；加热装置，用于加热腔室；除湿装置，用于除去腔室中的湿气；控制器，控制器用于控制加热装置和除湿装置的开启或关闭。根据本发明的干燥设备，能够将清洗后的游星轮放置于容纳腔中，便于游星轮的储放，避免随意挂置或堆叠造成的摩擦划伤和沾染颗粒杂物，可以通过加热装置或除湿装置除去箱体中的腔室内的湿气，使得腔室保持干燥，避免游星轮生锈，能够减少因游星轮而引起的硅片产品出现划伤、不均、裂纹和破片的问题。

技术领域

本发明涉及硅片加工领域，具体涉及一种干燥设备。

背景技术

游星轮是应用在玻璃、镜片、硅片、硬盘等各种平面研磨、抛光工序的夹具，主要材质有蓝钢、FR-4玻纤板、非金属、复合材料游星轮等。游星轮一般具有硬度高、韧性好、质量可靠稳定、耐磨、易加工成型、加工工序简单及不伤加工工件等特点。随着半导体晶圆、太阳轮硅材料、玻璃基板、蓝宝石制造等领域的迅速崛起，研磨和抛光工艺因其加工效率高、粗糙度低、厚度控制精确、加工后平坦度好等优点被广泛应用在以上领域，游星轮是研磨和抛光工艺中必不可少的部件，特别是太阳能硅材料和半导体晶圆的大量需求和大规模生产过程中，工厂现场会使用和存放较多的游星轮。

目前，游星轮经清洗后通常是挂置或叠放在一起，游星轮易出现生锈、碰撞擦伤、变形、表面被污染等情况，降低硅片在研磨、抛光过程中的良率，甚至损坏产品，比如造成产品破片、划伤、厚度不均等；同时游轮片的叠放和挂置，现场摆放凌乱，也不利于对不同使用时间和磨损量的游轮片进行分类储放。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种干燥设备，用以解决游星轮不便储放，易于出现生锈、污染以及损伤的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

根据本发明实施例的干燥设备，包括：

箱体，所述箱体内限定有一侧开口的腔室；

箱门，所述箱门设在所述箱体上以开启或封闭所述腔室；

储存架，所述储存架可移动地设在所述腔室中，所述储存架上形成有用于盛放游星轮的容纳腔；

湿温传感器，用于感测所述腔室中的温度和湿度；

加热装置，用于加热所述腔室；

除湿装置，用于除去所述腔室中的湿气；

控制器，所述控制器用于控制所述加热装置和所述除湿装置的开启或关闭。

其中，所述箱体的底部设有与所述腔室连通的排放口。

其中，所述干燥设备包括多个所述储存架，多个所述储存架间隔开设置。

其中，同一个所述储存架上设有多个相同的所述容纳腔，至少两个所述储存架上的所述容纳腔不同。

其中，所述储存架的所述容纳腔的底部和侧部分别为镂空状。

其中，所述储存架的底部设有行走轮，所述储存架的上部设有把手。

其中，所述除湿装置包括风机，所述箱体上设有与所述腔室连通的出风口，所述风机的进口与所述出风口连通。

其中，当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的温度达到第一温度阈值时，所述控制器控制所述加热装置开启；

当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的温度达到第二温度阈值时，所述控制器控制所述加热装置关闭；

当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的湿度达到第一湿度阈值时，所述控制器控制所述除湿装置开启；