[发明专利]一种石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试装置及方法

权利要求书

1.一种基于石墨烯纳晶碳膜接触电特性测试装置的石墨烯纳晶碳膜接触电特性测试方法，其特征在于，所述基于石墨烯纳晶碳膜接触电特性测试装置包括金属底座、P型硅基片、石墨烯纳晶碳膜，以及与所述石墨烯纳晶碳膜可接触的导电探针，所述金属底座和所述石墨烯纳晶碳膜通过导电银浆电连接，所述导电探针通过导线与金属底座电连接；测试方法包括步骤：

调节导电探针与石墨烯纳晶碳膜的接触面积，使所述导电探针与石墨烯纳晶碳膜的接触阶段包括加载接触阶段、保载接触阶段以及卸载接触阶段；

在不同的接触阶段对所述石墨烯纳晶碳膜分别进行定压模式和变压模式的接触电特性测试，获得相应的电特性数据；

其中，所述在不同的接触阶段对所述石墨烯纳晶碳膜进行定压模式的接触电特性测试包括步骤：

在导电探针与石墨烯纳晶碳膜的加载接触阶段、保载接触阶段以及卸载接触阶段均施加固定电压，在加载接触阶段施加0至最大载荷，获得导电探针与石墨烯纳晶碳膜的接触面积从0变化到最大值时的相应电流值；

所述在不同的接触阶段对所述石墨烯纳晶碳膜进行变压模式的接触电特性测试包括步骤：

在导电探针与石墨烯纳晶碳膜的保载接触阶段，施加-5V～5V的变电压，测试不同电压下石墨烯纳晶碳膜的伏安特性曲线。

2.根据权利要求1所述石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试方法，其特征在于，所述固定电压为2-8V。

3.根据权利要求1所述石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试方法，其特征在于，所述加载接触阶段的最大载荷为500-2000μN。

4.根据权利要求1所述石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试方法，其特征在于，所述变电压的增长步长为0.1V。

5.根据权利要求1所述石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试方法，其特征在于，所述导电探针的锥面夹角为142.3°，针尖曲率半径150nm。