[发明专利]投影系统、曝光设备

权利要求书

1.一种投影系统，其特征在于，包括：

第一投影单元，用于将来自n个光源的光投射至图案单元，并在图案单元上形成对应的n个第一光斑，其中，各第一光斑沿第一方向间隔排列，且在垂直于第一方向的第二方向上相互对齐，n为大于或等于2的整数；

第二投影单元，用于将来自图案单元的光投射向分光单元；

分光单元，用于对来自第二投影单元的、对应不同第一光斑的光进行分光，并在待曝光基板上形成对应的n个第二光斑，其中，任意两个第二光斑在第三方向上至少部分错开设置，所述第三方向对应图案单元上的第二方向。

2.根据权利要求1所述的投影系统，其特征在于，

所述n为2或3。

3.根据权利要求1所述的投影系统，其特征在于，

所述第一投影单元用于形成矩形的第一光斑，所述第一光斑的长度大于宽度，且其长度方向平行于第二方向。

4.根据权利要求1所述的投影系统，其特征在于，

在第二方向上，所述第一光斑的尺寸等于图案单元的图案化区域的尺寸。

5.根据权利要求1所述的投影系统，其特征在于，

各第二光斑沿第三方向依次排列，任意两相邻第二光斑在第三方向上一端部重叠，且不相邻的任意第二光斑在第三方向上无重叠。

6.根据权利要求1所述的投影系统，其特征在于，所述第一投影单元包括：

n个匀光棱镜，每个匀光棱镜用于对来自一个光源的光进行匀光，并将该光源对应的第一光斑转变为预定形状。

7.根据权利要求1所述的投影系统，其特征在于，所述分光单元包括n组反射镜，每组反射镜包括：

第一反射镜，用于反射对应的第一光斑的光，以使对应不同第一光斑的第二光斑在第三方向上产生位置差；

第二反射镜，用于将来自第一反射镜的光反射向待曝光基板形成第二光斑。

8.一种曝光设备，其特征在于，包括：

光源单元，用于产生n个光源；

图案单元，用于将射在其上的光投射出预定图形；

权利要求1至7中任意一项所述的投影系统；

驱动单元，用于驱动所述光源单元、投影系统、图案单元运动，以使第二光斑沿垂直于第三方向的扫描方向移动。

9.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，

所述图案单元为数字微镜。

10.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，

所述光源单元为光纤激光器，所述光纤激光器包括光纤接头和多条用于传播激光的光纤，各所述光纤在光纤接头处集中为n束，每束包括多条端面对齐的光纤，并构成一个光源。