[发明专利]一种基于渐变波导层的小功率激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910758929.3 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN112398002B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘飞;朱振;张新;于军;张东东 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/34 | 分类号： | H01S5/34;H01S5/343 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 250101 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 渐变 波导 功率 激光器 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于渐变波导层的小功率激光器，其特征在于，包括由下至上依次设置GaAs衬底、GaAs缓冲层、Gax1In1-x1P下过渡层、Al1-x2Inx2P下限制层、(Al1-x3Gax3)y1In1-y1P下限制层、(Al1-x5Gax5)y3In1-y3P下波导层、(Al1-x6Gax6)y4In1-y4P下垒层、Ga1-x7Inx7P下量子阱有源层、(Al1-x8Gax8)y5In1-y5P上垒层、Ga1-x9Inx9P上量子阱有源层、(Al1-x10Gax10)y6In1-y6P上波导层、Al1-x12Inx12P上限制层、Ga1-x13Inx13P腐蚀终止层、第三Al1-x14Inx14P上限制层、Ga1-x15Inx15P上过渡层和GaAs帽层；0.45≤x1≤0.55；0.3≤x2≤0.6；0.05≤x3≤0.5，0.3≤y1≤0.6；0.1≤x5≤0.6，0.3≤y3≤0.6；0.3≤x6≤0.6，0.3≤y4≤0.6；0.3≤x7≤0.7；0.3≤x8≤0.6,0.3≤y5≤0.6；0.3≤x9≤0.7；0.1≤x10≤0.6，0.3≤y6≤0.6；0.3≤x12≤0.6；0.3≤x13≤0.6；0.3≤x14≤0.6；0.45≤x15≤0.55；
所述(Al1-x3Gax3)y1In1-y1P下限制层和所述(Al1-x5Gax5)y3In1-y3P下波导层之间设置有(Al1-x4Gax4)y2In1-y2P组分渐变下波导层，0.05≤x4≤0.7表示(Al1-x4Gax4)y2In1-y2P组分渐变下波导层中自下到上x4由0.05增加为0.7，0.3≤y2≤0.7；
所述(Al1-x10Gax10)y6In1-y6P上波导层和所述Al1-x12Inx12P上限制层之间设置有(Al1-x11Gax11) y7In1-y7P组分渐变上波导层，0.05≤x11≤0.7表示(Al1-x11Gax11)y7In1-y7P组分渐变上波导层中自下到上x11由0.7减少为0.05，0.3≤y7≤0.7。
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