[发明专利]一种碳化硅晶体专用整形一体机在审
申请号: | 201910762125.0 | 申请日: | 2019-08-19 |
公开(公告)号: | CN110405603A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 顾青龙;陈辉;孔海宽;施尔畏 | 申请(专利权)人: | 安吉圆磨机械科技有限公司;中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B25/00;B24B5/12;B24B41/06;B24B49/12;B28D5/02 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 陈君智;戴元毅 |
地址: | 313000 浙江省湖州市安吉县梅溪镇*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳化硅晶体 工作台 砂轮 整形一体机 整形过程 床身 立柱 磨削 托板 检测 自动化 操作台 工作效率 活动移动 极性位置 气动刹车 前后移动 外圆砂轮 传统的 人工的 主轴头 整形 推车 下刀 | ||
1.一种碳化硅晶体专用整形一体机,包括床身(1),其特征在于,所述床身(1)上设有立柱(2),立柱(2)上设有托板(3),托板(3)上设有两个主轴头(4),两个主轴头(4)上均设有砂轮(6),砂轮(6)的下方设有位于床身(1)上的工作台(7),床身(1)的一侧设有操作台(9),床身(1)的一侧设有Y轴伺服电机(10)和X轴伺服电机,托板(3)上设有Z轴伺服电机(11),两个主轴头(4)之间设有红外线发射灯(14)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述红外线发射灯(14)的下方设有聚光灯罩,床身(1)上设有真空吸盘(16),真空吸盘(16)上设有碳化硅晶体(15),床身(1)上设有激光接收仪(18)和激光发射仪(19)。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述床身(1)上设有检测头伺服电机(13),检测头伺服电机(13)的一侧连接有手动调节装置(12),手动调节装置(12)包括手轮、涡轮蜗杆减速器、垂直直线导轨和左右移动架,床身(1)的一侧设有水箱(17)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体专用整形一体机,其特征在于,所述工作台(7)上可以安装电磁吸盘、真空吸盘和三爪卡盘等,快速安装换型,主轴头(4)的上方设有打刀气缸(5)。
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