[发明专利]散射参数测量方法及器件校准方法

权利要求书

1.一种散射参数测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：

制备N个标准结构件，标准结构件包括GSG PAD及长度为L_N且互不相等的传输线，其中，N≥2；

测量N个标准结构件的散射参数S_N；

将散射参数S_N转化为ABCD参数

根据变量Z₁和Y₂构造标准结构件中GSG PAD的ABCD矩阵其中，Z₁＝1/Y₁，Y₁和Y₂为标准结构件等效模型中的导纳；

根据变量γ和Z₀构造标准结构件中长度为L_N的传输线的ABCD矩阵其中，γ为电磁波的传播常数，Z₀为传输线的特征阻抗；

根据和构造标准结构件的ABCD矩阵

根据求解变量Z₁、Y₂和/或变量γ、Z₀；

根据变量Z₁、Y₂获取GSG PAD的ABCD参数和/或根据变量γ、Z₀获取任意长度L_X传输线的ABCD参数；

将GSG PAD的ABCD参数和/或任意长度L_X传输线的ABCD参数转化为散射参数S；

所述标准结构件中GSG PAD的ABCD矩阵解析表达式为：

所述标准结构件中长度为L_N的传输线的ABCD矩阵解析表达式为：

2.根据权利要求1所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述标准结构件的ABCD矩阵解析表达式为：

3.根据权利要求2所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述测量方法中，“根据求解变量Z₁、Y₂和/或变量γ、Z₀”具体为：

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构造非线性方程组：

其中，Q为A、B、C、D，M取值为1～N；

在每个频率点上求解非线性方程组，得到在每个频率点上变量Z₁、Y₂和/或变量γ、Z₀的值。

4.根据权利要求3所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述非线性方程组的求解通过Matlab软件中的fsolve函数完成。

5.根据权利要求1所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述测量方法中，“根据变量Z₁、Y₂获取GSG PAD的ABCD参数”具体为：

将变量Z₁、Y₂的值代入得到GSG PAD的ABCD参数。

6.根据权利要求1所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述测量方法中，“根据变量γ、Z₀获取任意长度L_X传输线的ABCD参数”：

将变量γ、Z₀的值代入得到任意长度L_X传输线的ABCD参数。

7.根据权利要求1所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述标准结构件在晶圆上制备而得。

8.根据权利要求7所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述晶圆包括射频硅基衬底。

9.根据权利要求1所述的散射参数测量方法，其特征在于，所述标准结构件的散射参数S_N通过矢量网络分析仪测量得到。