[发明专利]一种介质滤波器的激光调谐机

权利要求书

1.一种介质滤波器的激光调谐机，其特征在于，包括包括架子(1)、XYZ龙门结构运动组件(2)、激光烧蚀组件(3)、定位器(4)、矢量网络分析仪(5)、分析控制器(6)、可调平台(7)；所述架子(1)设有大理石平台(11)、四个支撑柱(12)、侧边平台(13)、背面平台(14)；所述XYZ龙门结构运动组件(2)设有Y直线电机运动轴(21)、辅助导轨轴(22)、X直线电机运动轴(23)、Z直线电机运动轴(24)；所述可调平台(7)在大理石平台(11)中间上；所述四个支撑柱(12)分别在大理石平台(11)的四个角上；所述Y直线电机运动轴(21)在大理石平台(11)左边的两个支撑柱(12)上；所述辅助导轨轴(22)在大理石平台(11)右边的两个支撑柱(12)上；所述X直线电机运动轴(23)左端在Y直线电机运动轴(21)上，X直线电机运动轴(23)右端在辅助导轨轴(22)上；所述Z直线电机运动轴(24)在X直线电机运动轴(23)上；所述激光烧蚀组件(3)在Z直线电机运动轴(24)上；所述定位器(4)在激光烧蚀组件(3)的前端上；所述矢量网络分析仪(5)在侧边平台(13)上；所述分析控制器(6)在背面平台(14)上；所述激光烧蚀组件(3)用于对介质滤波器进行烧蚀，且通过分析控制器(6)控制烧蚀位置及烧蚀量；所述定位器(4)用于对介质滤波器通过光学定位，将介质滤波器的位置坐标传送到分析控制器(6)中；所述矢量网络分析仪(5)用于测介质滤波器的气电指标参数，且把参数发送到分析控制器(6)；所述分析控制器(6)用于对介质滤波器的气电指标参数进行分析，且控制激光烧蚀组件(3)进行烧蚀的位置及烧蚀量。

2.根据权利要求1所述一种介质滤波器的激光调谐机，其特征在于，所述激光烧蚀组件(3)包括激光器、扩束镜、调焦部件、振镜头(31)；所述振镜头(31)用于射出激光。

3.根据权利要求1所述一种介质滤波器的激光调谐机，其特征在于，所述Y直线电机运动轴(21)、X直线电机运动轴(23)、Z直线电机运动轴(24)的机械运动是由电机驱动。

4.根据权利要求1所述一种介质滤波器的激光调谐机，其特征在于，所述可调平台(7)能够调节高低。