[发明专利]一种熔盐原位电沉积制备钨涂层的方法

权利要求书

1.一种熔盐原位电沉积制备钨涂层的方法，其特征在于，在惰性气体保护下，以包含稀有金属氧化物的钨酸盐体系为熔盐电解质，金属钨或钨基合金为辅助电极，导电镀件为工作电极，加热熔融熔盐电解质后保温，原位电沉积，即得；

其中，所述钨酸盐体系由钨酸盐、三氧化钨和稀有金属氧化物组成，其中，所述钨酸盐与所述三氧化钨的摩尔比为1：0.001-0.5，所述稀有金属氧化物为稀土金属氧化物和氧化锆中的一种，所述稀有金属氧化物在所述钨酸盐体系中的添加量为1-5 wt%。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述钨酸盐为Na₂WO₄、K₂WO₄和CaWO₄中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述钨酸盐为Na₂WO₄。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述钨基合金中钨的含量大于等于98wt%。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电沉积为恒电位跃阶法原位电沉积或恒电流跃阶法原位电沉积。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，

所述恒电位跃阶法原位电沉积的工艺条件为：电位为0.2-2V，参比电极为金属铂丝；

和/或，所述恒电流跃阶法原位电沉积的工艺条件为：电流密度为10-140 mA/cm²。

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述导电镀件的表面粗糙度小于Ra 1.8，且电导率大于240 S/cm。

8.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述惰性气体选自氦气、氖气和氩气中的一种。

9.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述加热熔融和保温的温度为800-950℃。

10.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将经机械切割和打磨处理后的金属钨或钨基合金依次置于丙酮、酒精和去离子水中超声清洗，烘干备用；

S2、将导电镀件经机械打磨和表面抛光至表面光滑平整后，依次置于丙酮、酒精和去离子水中超声清洗，烘干备用；

S3、将预先经过真空干燥脱水处理后的熔盐电解质原料按配比混合，在惰性气体保护下升温至800-950 ℃，保温2-4 h溶化均匀；

S4、将辅助电极和工作电极置于熔盐中采用恒电位跃阶法原位电沉积，或将辅助电极、工作电极和参比电极置于熔盐中采用恒电流跃阶法原位电沉积，电沉积后立即取出导电镀件并置于碱液中浸泡，清洗后烘干即得。