[发明专利]清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统

权利要求书

1.一种清洁机构，其特征在于，用于清洁顶置缓冲器上的反光板，所述清洁机构包括：

承载组件，所述承载组件相对于所述顶置缓冲器位置可调节地设置；

清洁件，所述清洁件可拆卸地设置在所述承载组件上。

2.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件设置在所述承载组件朝向所述顶置缓冲器的一侧，以使所述清洁件与所述反光板所在平面相对设置；

其中，所述清洁件的至少部分沿靠近或远离所述反光板的方向可移动地设置。

3.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件包括：

第一清洁部，所述第一清洁部设置在所述承载组件上，所述第一清洁部包括用于清洁所述反光板的刷子。

4.根据权利要求3所述的清洁机构，其特征在于，所述第一清洁部还包括：

机械臂，所述机械臂设置在所述承载组件上，所述刷子设置在所述机械臂远离所述承载组件的一端；

其中，所述机械臂可活动地设置，以驱动所述刷子相对于所述反光板移动。

5.根据权利要求4所述的清洁机构，其特征在于，所述第一清洁部还包括：

控制模块，所述控制模块设置在所述承载组件上，所述控制模块与所述机械臂相连接，以控制所述机械臂相对于所述反光板活动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件包括：

第二清洁部，所述第二清洁部设置在所述承载组件上；

驱动臂，所述驱动臂设置在所述承载组件上，所述驱动臂与所述第二清洁部相连接，所述驱动臂可活动地设置，以驱动所述第二清洁部相对于所述反光板移动。

7.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁件包括：

机械臂，所述机械臂设置在所述承载组件上；

刷子，所述刷子设置在所述机械臂远离所述承载组件的一端；

吸尘器所述机械臂与所述吸尘器相连接；

控制模块，所述控制模块设置在所述承载组件上；

其中，所述控制模块与所述机械臂、所述刷子以及所述吸尘器均连接，以控制所述机械臂、所述刷子以及所述吸尘器的运行状态。

8.根据权利要求7所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁机构具有自动模式和手动模式；

其中，当所述清洁机构处于手动模式时，清洁机构用于与手持终端相连接，所述手持终端控制所述承载组件移动到预设清洁位置后，控制所述机械臂移动至清洁位置，所述控制模块记录并存储所述清洁位置；当所述清洁机构处于所述自动模式时，所述控制模块接收控制信号，以使所述机械臂移动至所述清洁位置。

9.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁机构还包括：

转接部，所述转接部可拆卸地安装在所述承载组件上，所述清洁件安装在所述转接部上，以使所述清洁件通过所述转接部设置在所述承载组件上。

10.一种清洁车，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的清洁机构和导轨，所述承载组件可移动地设置在所述导轨上，所述导轨用于设置在所述顶置缓冲器的上方。

11.一种物料自动搬运系统，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的清洁机构和晶圆盒抓取机构；

其中，所述晶圆盒抓取机构可拆卸的安装在所述承载组件上。