[发明专利]一种真空烤盘炉

说明书

本发明公开了一种真空烤盘炉，本发明涉及烤炉盘技术领域，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，炉体包括有外壳和内腔，外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，内腔的前、后端均开设有通风孔，内腔中设置有加热组件；本发明通过上述相关结构的配合使用，炉体内需要真空状态时，打开气阀，PLC可以控制旋片式真空泵或罗茨真空泵对炉体内的空气进行抽离，直到将炉体抽至真空状态，度热电偶可以对炉体内的温度进行检测，然后将炉体内的温度信息依次传递给温度仪和PLC，然后PLC将温度信息传递给炉体外部的触摸屏，然后触摸屏控制PLC对炉体内的温度进行调控。

技术领域

本发明涉及烤炉盘技术领域，具体为一种真空烤盘炉。

背景技术

真空烤盘炉设备为LED制造行业的一种新型的真空设备，与MOCVO设备配套使用，炉内抽真空，被处理工作当旨在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体为氮气或者氢气)，主要用于有效清除MOCVO承受起(SiC图层石墨盘或者石英盘)上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁效果，提高制品质量的目的。

但是传统的真空烤盘炉在使用时，不能够均匀的对炉体内的温度进行调控，且抽真空时，效果不佳，为此我们有必要设计一种真空烤盘炉来解决上述问题。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空烤盘炉，解决了背景技术中提到的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空烤盘炉，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器；

所述炉体包括有外壳和内腔，所述外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，所述内腔的前、后端均开设有通风孔，所述内腔中设置有加热组件，所述加热组件包括由外部电源供电的多个加热棒，且两两所述加热棒形成一个加热组，两两所述加热组的中部通过连接座连接，且连接座安装在内腔的内壁上，一个所述加热组内的两个加热棒端部通过连杆连接，多个所述加热组之间通过连接座和连杆形成一个环形的加热框，所述后炉门的外侧固定有风机，所述风机的输出端连接有通风管，所述通风管穿过所述后炉门并延伸到所述内腔后端通风孔处；

所述温度检测和控制系统包括有测温元件和与控制器电连接的温控仪，所述测温元件设置于内腔中，所述温控仪一方面与所述测温元件电连接，另一方面分别与加热组件和风机电连接，所述测温元件还电连接有指示灯和蜂鸣器；

所述真空系统包括有第一真空泵、第二真空泵、气阀和真空检测元件，所述第一真空泵、第二真空泵相串联后连接有通向内腔的管道，所述气阀安装在所述管道中，所述控制器一方面与所述真空检测元件电连接，另一方面分别与第一真空泵、第二真空泵、气阀电连接。

优选的，所述控制器采用PLC，所述真空检测元件采用电阻真空计。

优选的，所述测温元件为分度热电偶。

优选的，所述加热棒为石墨棒。

优选的，所述第一真空泵为旋片式真空泵、所述第二真空泵为罗茨真空泵。

优选的，所述前炉门的外侧固定安装有气缸，所述气缸的输出端延伸入炉体内并固定连接有对靠近气缸的通风孔进行封堵的封堵板。

优选的，所述后炉门的外侧还固定安装有摆缸，所述摆缸的输出端出入后炉门并固定连接有均风罩，且均风罩位于通风管的前方。

优选的，所述控制器电连接有触摸屏。

本发明与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该一种真空烤盘炉，炉体内需要真空状态时，打开气阀，PLC可以控制第一真空泵或第二真空泵对炉体内的空气进行抽离，直到将炉体抽至真空状态，使得炉体内的抽真空效果更好，进而对工件的处理效果更好。