[发明专利]一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液有效
| 申请号： | 201910764288.2 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110344062B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;邵勇;陈林;朱龙;何家苗;赵丹;顾玲燕 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44;C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 钛铝钛 层叠 金属膜 蚀刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液，其特征在于，其主要组分包括氧化性酸、氟化物和水，按重量百分比计，栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液中氧化性酸的含量为：硝酸2.5～8%、高氯酸0～1%；氟化物的主要组成为氟化铵和氟化氢；氟化铵的浓度大于氟化氢的浓度；按重量百分比计，栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液中氟化铵和氟化氢的含量分别为：氟化铵0.001～2%、氟化氢0.001～0.8%；
还包括结构通式为R4N+X-的水溶性烷基季铵盐，按重量百分比计，栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液中水溶性烷基季铵盐的含量为0.005～0.3%；所述水溶性烷基季铵盐的结构通式中X-为除F-外的中强酸根离子和/或弱酸根离子；所述水溶性烷基季铵盐的结构通式中R为C1～C4的烷烃基。
2.根据权利要求1所述的栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液，其特征在于，所述水溶性烷基季铵盐的结构通式中X-为选自磷酸根离子和草酸根离子中的一种或两种的组合。
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