[发明专利]离子注入机大盘振动感知互锁系统在审
| 申请号： | 201910766120.5 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112397368A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张建圣;何伟 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 大盘 振动 感知 互锁 系统 | ||
1.一种离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，包括：
振动传感器，所述振动传感器设置在所述离子注入机上，用于获得所述离子注入机的振动信号；
振动控制器，所述振动控制器与所述振动传感器通讯地连接，以及
互锁控制盒子，所述互锁控制盒子与所述振动控制器以及所述离子注入机的旋转控制器连接，用于接收所述振动控制器发出的控制信号，并根据所述控制信号控制所述旋转控制器的工作状态。
2.根据权利要求1所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述振动控制器包括了显示器以及操作系统。
3.根据权利要求2所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述显示器实时显示振动信号。
4.根据权利要求2所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述操作系统设置振动阈值，当监测到所述振动信号高于所述振动阈值时，向所述互锁控制盒子发送控制信号。
5.根据权利要求4所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述互锁控制盒子包括控制部和警报部。
6.根据权利要求5所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述控制部基于接收到的所述控制信号锁定旋转控制器。
7.根据权利要求5所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述警报部包括LED灯警报装置和/或蜂鸣器警报装置。
8.根据权利要求7所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述LED灯警报装置和/或蜂鸣器警报装置基于接收到的所述控制信号触发，并锁定警报状态。
9.根据权利要求1所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述旋转控制器具有转速传感器，用于检测所述离子注入机的转动速度。
10.根据权利要求1所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述离子注入机大盘振动感知互锁系统还包括手动控制部，所述手动控制部用来解除所述旋转控制器的锁定状态以及所述警报装置的警报锁定状态。
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