[发明专利]探针卡

说明书

本发明提供一种探针卡，用以检测待测晶圆，其包含光输出元件可连接于定位元件，该光输出元件设置于具有通孔的电性检测基板的通孔，且以光纤将光输出元件与光源控制单元连接，可将输出光从光源控制单元传输至光输出元件，其中，定位元件可使光输出元件进行三维空间移动或调整与光输出元件的中心轴线的夹角角度，因此在硅光晶圆测试时，可同时进行光检测及电检测。

【技术领域】

本发明为一种探针卡，特别是关于一种具有电检测及光检测的探针卡。

【背景技术】

在已知的硅光晶圆量产测试时，以设有光输出元件及Z轴位移感测元件的机械臂对待测晶圆进行光检测，其中，光输出元件以光纤与光源控制单元连接，由光源控制单元提供输出光经光纤传送至光输出元件，再由光输出元件输出该输出光，使得该最佳检测位置达到正确光通量。

另外，由探针定位元件调整探针位置进行电性检测，与前述的光检测为两独立机构，意即在待测晶圆的相同检测位置上，电检测及光检测并非同步进行，一般来说，检测一片8吋晶圆的测试时间约为24小时，相当耗时，为目前需要改善的问题。

【发明内容】

为解决上述检测耗时的问题，本发明提供一种探针卡，包含：具有通孔的电性检测基板，光输出元件设置于该通孔，且利用光纤将光输出元件与光源控制单元连接，用以提供输出光，以及定位元件可使光输出元件进行三维空间移动或调整与光输出元件的中心轴线的夹角角度。

其中，定位元件连接光输出元件与电性检测基板，因此定位元件与光输出元件可随着电性检测基板同步移动，并以定位元件微幅调整光输出元件的位置及角度，即可在待测晶圆的相同检测位置上同时进行光检测及电检测，发明提供的探针卡可以解决需进行光感测的待测晶圆的耗时问题，提高检测效率。

以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

【附图说明】

图1为本发明一实施例的探针卡侧视示意图。

图2为本发明一实施例的探针卡俯视示意图。

图3为本发明另一实施例的探针卡侧视示意图。

图4为本发明另一实施例的探针卡俯视示意图。

图5为本发明又另一实施例的探针卡侧视示意图。

【符号说明】

11 探针

12 待测晶圆

131 光输出元件

132 Z轴位移感测元件

133 定位元件

14 光纤

15 光源控制单元

16 电性检测基板

17 集成控制单元

18 通孔

19 载台

20 测试单元

【具体实施方式】