[发明专利]激光加工系统、喷流观测装置、激光加工方法、以及喷流观测方法

权利要求书

1.一种激光加工系统，其特征在于，具有：

喷嘴，其具有沿着激光光线的光轴射出辅助气体的喷流的射出口，在远离所述射出口的位置形成所述喷流的速度的极大点；

伪工件，其配置在所述喷流的流动方向的前方，并具有配置在所述光轴上的贯穿孔；

移动机构，其使该喷嘴移动，以便使所述喷嘴与所述伪工件的距离变化；

测量器，其与所述贯穿孔邻接设置，测量通过该贯穿孔的所述喷流的所述速度，并且在所述移动机构使所述距离变化的期间，沿着所述喷流连续测量所述速度；以及

位置取得部，其取得所述测量器输出的连续的输出数据的峰值，作为表示所述极大点的位置的信息。

2.根据权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，

所述激光加工系统还具备：控制部，其取得测量出峰值时的所述距离作为目标距离，生成将该目标距离与所述射出口的开口尺寸和所述辅助气体的供给压力关联起来进行存储的数据库。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工系统，其特征在于，

所述测量器具有：热线流速计，其包含以横穿所述伪工件的所述贯穿孔的方式伸展到该贯穿孔的热线。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工系统，其特征在于，

所述喷嘴形成在所述喷流的流动方向上排列的多个所述极大点，

所述位置取得部取得第一所述峰值作为表示第一所述极大点的所述位置的所述信息，

所述位置取得部取得第二所述峰值作为表示第二所述极大点的所述位置的所述信息。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工系统，其特征在于，

所述激光加工系统还具有：移动控制部，其控制所述移动机构，将所述喷嘴相对于所述工件配置在根据所述信息而确定的目标位置。

6.一种喷流观测装置，其特征在于，具有：

测量器，其与伪工件具有的贯穿孔邻接配置，对从喷嘴的射出口沿着激光光线的光轴射出并通过所述贯穿孔的气体的喷流的速度进行测量，并且在移动机构使所述喷嘴移动而使所述喷嘴与所述伪工件的距离变化的期间，沿着所述喷流连续测量所述速度，所述伪工件配置在所述喷流的流动方向的前方，所述贯穿孔配置在所述光轴上；以及

位置取得部，其取得所述测量器输出的连续的输出数据的峰值，作为表示在远离所述射出口的位置形成的所述喷流的所述速度的极大点的位置的信息。

7.一种使用权利要求1～5中任一项所述的激光加工系统来对工件进行激光加工的方法，其特征在于，

在将所述喷嘴相对于工件的加工部位配置在根据所述信息而确定的目标位置的状态下，从所述喷嘴的所述射出口射出所述喷流，并且通过所述激光光线来加工所述工件。

8.一种喷流观测方法，其特征在于，

通过与伪工件具有的贯穿孔邻接配置的测量器对从喷嘴的射出口沿着激光光线的光轴射出并通过所述贯穿孔的气体的喷流的速度进行测量，并且在移动机构使所述喷嘴移动而使所述喷嘴与所述伪工件的距离变化的期间，沿着所述喷流连续测量所述速度，所述伪工件配置在所述喷流的流动方向的前方，所述贯穿孔配置在所述光轴上，

取得连续测量而得的数据的峰值，作为表示在远离所述射出口的位置形成的所述喷流的所述速度的极大点的位置的信息。