[发明专利]显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种显示装置的制造方法，其中，所述制造方法包括：

在基底上形成晶体管；

在所述晶体管上形成绝缘层；

在所述绝缘层上形成包括银的导电层；

在所述导电层上形成感光构件；

通过蚀刻所述导电层形成发光元件的电极；

对包括所述电极的结构执行等离子体处理，所述等离子体处理使用包括卤素的气体；以及

去除由所述等离子体处理导致的产物。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，

所述产物是卤化银。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其中，

所述卤化银是氟化银。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，

使用包括氟的气体执行所述等离子体处理。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其中，

使用包括CF₄的气体执行所述等离子体处理。

6.根据权利要求5所述的制造方法，其中，

使用包括N₂的气体执行所述等离子体处理。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其中，

使用包括O₂的气体执行所述等离子体处理。

8.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：

基底；

发光元件，所述发光元件设置在所述基底上；以及

焊盘，所述焊盘设置在所述基底上并且与所述发光元件间隔开，

其中，所述焊盘的表面包括金属氟化物。

9.根据权利要求8所述的显示装置，其中，

所述焊盘的所述表面包括金属氮化物。

10.根据权利要求9所述的显示装置，其中，

所述焊盘的所述表面包括金属氧化物。