[发明专利]PERC电池清洗制绒工艺及系统

说明书

本发明公开了一种PERC电池清洗制绒工艺，将硅片依次通过前酸清洗→纯水清洗→臭氧水清洗→粗抛→纯水清洗→臭氧水清洗→制绒→纯水清洗→臭氧水清洗→纯水清洗→后酸清洗→纯水清洗→慢提拉→烘干。本发明使用酸溶液、臭氧水、纯水进行分步处理，可以有效解决PERC电池制绒过程中硅片绒面表面出现白点、齿印、脏污清洗不干净的问题，同时制备的金字塔大小均匀，绒面反射率低。而且清洗制绒工序整体时间缩短，能耗减小，产量变大。同时化学品种类及使用量小，解决了部分环境污染问题。

技术领域

本发明涉及一种PERC电池清洗制绒工艺及系统，属于晶硅太阳电池制造技术领域。

背景技术

表面织构化是PERC电池制造工艺中的首要一环，是提高对入射光的吸收及对后续工艺匹配的重要工艺环节。对提升PERC电池的转换效率至关重要。目前产业化生产中对PERC电池的清洗制绒环节主要是利用化学湿法刻蚀。即利用酸碱等化学品的混合溶液对硅片进行清洗及碱的各项异性腐蚀对硅片进行刻蚀制绒。但是该清洗制绒方法存在以下缺点：例如硅片绒面表面出现白点、齿印、脏污清洗不干净等外观问题。同时绒面反射率较大，金字塔尺寸不均匀等性能问题。而且清洗制绒工序时间较长，化学品使用种类多、用量大等能耗及环境污染问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：解决了在PERC电池制绒过程中如何避免硅片绒面脏污的问题；如何使得制备的金字塔大小均匀，绒面反射率低的问题；如何减小清洗制绒工序整体时间以及减小使用化学品种类及使用量的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是提供了一种PERC电池清洗制绒工艺，其特征在于，包括以下步骤：。

步骤(1)、将原始硅片放入到前酸洗槽进行前酸清洗处理；

步骤(2)、将步骤(1)酸洗后的硅片放入到第一纯水清洗槽进行纯水清洗；

步骤(3)、在臭氧水洗槽将步骤(2)纯水清洗后的硅片进行第一次臭氧水清洗处理；

步骤(4)、在粗抛槽将步骤(3)臭氧水清洗处理后的硅片进行粗抛处理；

步骤(5)、将步骤(4)粗抛后的硅片放入到第二纯水清洗槽进行纯水清洗；

步骤(6)、在臭氧水洗槽将步骤(5)粗抛后的硅片进行第二次臭氧水清洗处理；

步骤(7)、在制绒槽将步骤(6)臭氧水清洗后的硅片进行制绒处理；

步骤(8)、将步骤(7)制绒后的硅片放入到第三纯水清洗槽进行纯水清洗；

步骤(9)、在臭氧水洗槽将步骤(8)纯水清洗后的硅片进行第三次臭氧水清洗处理；

步骤(10)、将步骤(9)臭氧水清洗处理后的硅片放入到第四纯水清洗槽进行纯水清洗；

步骤(11)、将步骤(10)纯水清洗处理后的硅片放入到后酸洗槽进行后酸清洗处理；

步骤(12)、将步骤(11)后酸清洗处理后的硅片放入到第五纯水清洗槽进行纯水清洗；

步骤(13)、将步骤(12)纯水清洗后的硅片放入到慢提拉槽进行预脱水；

步骤(14)、将步骤(13)预脱水后的硅片放入到烘干槽进行烘干。

优选地，所述的步骤(1)和步骤(11)中前酸清洗槽和后酸清洗槽内的溶液均为HF/HCL溶液；所述HF/HCL溶液中，HF体积浓度为5-10％，HCL体积浓度5-10％，其余为纯水；酸清洗的温度为20-30℃，酸清洗的时间为60-120S，同时进行循环鼓泡。

优选地，所述的步骤(3)、步骤(6)和步骤(9)中，臭氧水洗槽中的臭氧浓度为25-40ppm；温度为20-25℃；臭氧水清洗的时间为120-240S。