[发明专利]一种悬浮石墨烯转移方法有效
| 申请号： | 201910773373.5 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110330013B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李雪松;牛宇婷;青芳竹;刘春林 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B32/186 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李亚男 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 石墨 转移 方法 | ||
1.一种悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，其包括以下步骤：
(1)将掩模材料固定在通过化学气相沉积法生长有石墨烯的金属基底上，在石墨烯上方蒸镀金属；
(2)蒸镀金属完成后取下掩模材料，将具有金属/石墨烯/金属基底的结构层置于刻蚀液中将金属基底刻蚀后，形成具有金属/石墨烯的结构层；
(3)对具有金属/石墨烯的结构层进行漂洗，然后采用中空基底将其捞出，并进行干燥。
2.根据权利要求1所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(1)中掩模材料包括：微米粉末、微米细丝或金属掩模板。
3.根据权利要求1所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(1)蒸镀金属方式包括：电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射镀膜或原子层沉积。
4.根据权利要求3所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(1)中蒸镀金属得到金属层的厚度为50nm-1μm。
5.根据权利要求1所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(2)采用的刻蚀液为0.1mol/L-1mol/L的过硫酸铵或氯化铁。
6.根据权利要求1所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(3)干燥过程包括：自然晾干后，在50℃-70℃温度下干燥10min-20min。
7.根据权利要求1所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(3)漂洗采用的漂洗液为体积比为6：4或者7：3的去离子水和异丙醇的混合液。
8.根据权利要求1-7任一项所述的悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，步骤(3)其特征在于，步骤(3)中的中空基底包括：铜网、铜滤网或中空PET。
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