[发明专利]利用透明导电发热薄膜进行加热的原子气室在审
申请号: | 201910773403.2 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN110553635A | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 张尚;李衎 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | G01C19/58 | 分类号: | G01C19/58;G01C19/60;G01R33/02;G04F5/14 |
代理公司: | 33216 杭州之江专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 林蜀 |
地址: | 310014 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发热薄膜 透明导电 温度控制装置 原子气室 通光 加热 沉积 碱金属 有效地减少 测量器件 测量仪器 加热停止 入射激光 透明玻璃 通光面 反射 薄膜 制作 保证 | ||
1.利用透明导电发热薄膜加热的原子气室,包括由透明玻璃制作的原子气室及温度控制装置,其特征在于原子气室的通光面一侧的外表面沉积有透明导电发热薄膜;透明导电发热薄膜与温度控制装置连接;温度控制装置。
2.如权利要求1所述的利用透明导电发热薄膜加热的原子气室,其特征在于在原子气室非通光面的外表面沉积有透明导电发热薄膜,该透明导电发热薄膜与温度控制装置连接。
3.如权利要求1所述的利用透明导电发热薄膜加热的原子气室,其特征在于在通光面上沉积的透明导电发热薄膜的上层沉积有透光介质薄膜。
4.如权利要求1或2所述的利用透明导电发热薄膜加热的原子气室,其特征在于所述的透明导电发热薄膜由铟锡氧化物或掺铝氧化锌或掺氟氧化锡半导体材料沉积而成。
5.如权利要求3所述的利用透明导电发热薄膜加热的原子气室,其特征在于所述透光介质薄膜由氟化镁半导体材料沉积而成。
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