[发明专利]一种基于光热电效应的光探测器在审
申请号: | 201910773645.1 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN110473956A | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 金华伏安光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L35/16 | 分类号: | H01L35/16;H01L35/18;H01L35/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 322200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热电材料层 相变材料层 微结构层 吸收光 基底 两端连接电极 热传导性能 电极设置 光探测器 灵敏度 电极 电势差 光热电 光探测 探测器 级联 传导 放大 吸收 转化 | ||
1.一种基于光热电效应的光探测器,包括基底、热电材料层、电极,热电材料层和电极设置在基底上,热电材料层的两端连接电极,其特征在于:在热电材料层的任一端的上面设置有相变材料层,相变材料层上还设置微结构层。
2.如权利要求1所述的基于光热电效应的光探测器,其特征在于:所述热电材料层的材料为Bi2Te3或SbTe3。
3.如权利要求2所述的基于光热电效应的光探测器,其特征在于:所述相变材料层的材料为温度变化导致热传导系数变化的材料。
4.如权利要求2所述的基于光热电效应的光探测器,其特征在于:所述相变材料层的材料为温度变化导致吸收光性能变化的材料。
5.如权利要求2所述的基于光热电效应的光探测器,其特征在于:所述相变材料层的材料为二氧化钒。
6.如权利要求3-5任一项所述的基于光热电效应的温度探测器,其特征在于:所述微结构层由贵金属纳米颗粒构成。
7.如权利要求3-5所述的基于光热电效应的光探测器,其特征在于:所述微结构层为带有孔洞的贵金属薄膜。
8.如权利要求6所述的基于光热电效应的光传感器,其特征在于:所述贵金属纳米颗粒为球形、方形或矩形。
9.如权利要求8所述的基于光热电效应的光传感器,其特征在于:所述贵金属纳米颗粒嵌入到相变材料层中。
10.如权利要求9所述的基于光热电效应的光传感器,其特征在于:在所述贵金属纳米颗粒上还覆盖石墨烯薄膜。
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