[发明专利]提高真空导电性的x射线和粒子护罩

权利要求书

1.一种设备，其包括：

细长x射线护罩，其由成形为具有至少180º扭曲的扭曲件的高原子量材料制成。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述细长x射线护罩具有210º扭曲。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的设备，其中所述高原子量材料是铅。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的设备，其中所述高原子量材料由包含烧结钨粒的材料形成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的设备，其中所述细长x射线护罩用一层低原子量材料涂布。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述低z材料是铝。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的设备，其中所述细长x射线护罩用一层非蒸散型吸气剂材料涂布。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述细长x射线护罩进行冷却。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的设备，其中所述细长x射线护罩进行正偏置或负偏置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的设备，其中所述细长x射线护罩具有长度和宽度，并且所述宽度和长度基于真空管的内径及长度的一部分，所述真空管将高真空室与真空泵连接。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的设备，还包括布置成垂直于所述细长x射线护罩的第二细长x射线护罩，所述第二细长x射线护罩由成形为扭曲件的高原子量材料形成。

12.一种系统，其包括：

真空室；

真空泵；

真空管，其连接在所述真空室和所述真空泵之间；以及

细长x射线护罩，其安置在所述真空管的至少一部分内，所述细长x射线护罩由成形为扭曲件的高原子量材料形成。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述细长x射线护罩具有至少180º扭曲。

14.根据权利要求12所述的系统，其中所述细长x射线护罩具有至少210º扭曲。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的系统，其中所述高原子量材料是铅。

16.根据权利要求12至14中任一项所述的系统，其中所述高原子量材料由包含烧结钨粒的材料形成。

17.根据权利要求12至16中任一项所述的系统，其中所述细长x射线护罩用一层低原子量材料涂布。

18.根据权利要求17所述的系统，其中所述低z材料是铝。

19.根据权利要求12至16中任一项所述的系统，其中所述细长x射线护罩由非蒸散型吸气剂材料制成。

20.根据权利要求12至19中任一项所述的系统，其中所述真空管的内表面用一层非蒸散型吸气剂材料涂布。

21.根据权利要求12至20中任一项所述的系统，其中所述细长x射线护罩进行正偏置或负偏置。

22.根据权利要求12至21中任一项所述的系统，其中所述真空室是带电粒子显微镜的一部分。