[发明专利]一种旋转式多位阻蒸舟

说明书

本发明创造涉及真空镀膜技术领域，提出一种旋转式多位阻蒸舟。包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极；在旋转盘的顶面中心位置处，在旋转盘的顶面边缘位置处，设置有若干个分电极，在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟，在每个分电极的下方设置有一个导电柱，在所述旋转盘的底面中心位置处，同轴设置有一个环形的开关电极，开关电极通过导电棒与上公用电极连接，旋转盘的底部中心与一个转动轴上端连接固定，转动轴下端与一个伺服电机传动连接。本发明创造与传统的单位阻蒸舟相比较，可实现对多种不同的膜料进行加热、蒸发，采用一次抽真空，多工位旋转，从而达到工件多次镀膜的目的，提高了镀膜效率，简化了镀膜操作。

技术领域

本发明创造涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种旋转式多位阻蒸舟。

背景技术

真空蒸发镀膜是通过蒸发源蒸发靶材并在上方基材表面凝结成膜的技术。传统的蒸发设备是单位阻蒸舟，单位阻蒸舟结构简单，包括一个阻蒸舟，通过电源串联阻蒸舟使阻蒸舟发热升温，实现对阻蒸舟内承载膜料的加热蒸发。随着真空镀膜技术的发展，基材表面需要镀好多层不同种类的膜，传统的单位阻蒸舟已经不能满足生产需要，因为单位阻蒸舟每次只能装入一种膜料，在装入膜料后，需要关闭真空镀膜机舱门，先对真空镀膜机抽真空，然后启动阻蒸舟进行蒸发镀膜，一次启动只能够镀一种膜，若要镀多层膜，就需要多次装膜料，多次抽真空，费时费力，生产效率低，远远满足不了当下的生产需要。因此，有必要对阻蒸舟进行改进。

发明内容

发明人为了解决传统阻蒸舟在镀多层膜时，费时费力，生产效率低的问题，提出一种旋转式多位阻蒸舟，其结构包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极；在旋转盘的顶面中心位置处，同轴设置有一个环形的上公用电极；在旋转盘的顶面边缘位置处，设置有若干个分电极，若干个分电极以环形路径均匀分布，该环形路径与旋转盘同轴；在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟，在每个分电极的下方设置有一个导电柱，导电柱竖向穿设在旋转盘上，若干个导电柱以环形路径均匀分布，该环形路径与旋转盘同轴；在所述旋转盘的底面中心位置处，同轴设置有一个环形的开关电极，所述开关电极通过导电棒与上公用电极连接，导电棒竖向穿设在旋转盘上；所述旋转盘的底部中心与一个转动轴上端连接固定，转动轴下端与一个伺服电机传动连接；所述下公用电极和换位电极分别设置在转动轴的两侧，下公用电极位于环形的开关电极下方，换位电极位于导电柱的下方，下公用电极的下端与一个升降气缸一的活塞杆连接固定，换位电极的下端与一个升降气缸二的活塞杆连接固定；下公用电极的下方设置有接线柱一，换位电极的下方设置有接线柱二；所述电源、接线柱一、下公用电极、开关电极、导电棒、上公用电极、阻蒸舟、分电极、导电柱、换位电极、接线柱二依序构成电源回路；所述伺服电机与电源电连接；所述升降气缸一、二与气泵连通。

所述下公用电极包括圆柱形接触头、导电棒二和固定底座，所述圆柱形接触头底部与导电棒二的顶部采用转向球头连接，导电棒二的底端与固定底座固定连接；所述圆柱形接触头、导电棒二、固定底座和接线柱一依序串联；还在圆柱形接触头与固定底座之间设置有分流器。

所述换位电极包括圆柱形接触头二、导电棒三和固定底座二，所述圆柱形接触头二底部与导电棒三的顶部采用转向球头连接，导电棒三的底端与固定座二固定连接；所述圆柱形接触头二、导电棒三、固定底座二和接线柱二依序串联；还在圆柱形接触头二与固定底座二之间设置有分流器二。

所述旋转盘内部设置有水冷腔，所述导电柱、导电棒均与水冷腔接触；所述转动轴为空心转动轴，其上端为进水口二与水冷腔连通，其下端开设有出水口，并在出水口上套设一个引流腔，引流腔上开设有出水口二，引流腔与转动轴内部连通，并通过密封轴承一转动连接；在转动轴的外侧，位于出水口的上方套设有水冷管，水冷管的内壁与转动轴外壁之间不接触形成水冷通道，水冷管上端与旋转盘固定连接并与水冷腔连通，水冷管的中段通过密封轴承二与一个密封安装管连接，水冷管的下端与转动轴之间密封并固定，在水冷管的下端套设一个进水腔，进水腔与水冷管通过密封轴承三转动连接，进水腔上设有进水口与外部的进水管连通，并且进水腔与水冷管连通。