[发明专利]一种旋涂装置

说明书

本发明公开了一种旋涂装置，属于表面涂覆技术领域，通过电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部，从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。

技术领域

本发明涉及表面涂覆技术领域，特别涉及一种旋涂装置。

背景技术

旋涂是在高速旋转的固体表面通过离心作用将具有一定黏度的液态功能材料均匀地涂覆上，通过调节离心旋转速度和反应时间来实现所要求的厚度、均匀性和一致性；在样片高速旋转的情况下，样片通过外接真空泵在气路通道内形成负压，将样片紧紧吸附在样片托上，从而满足整个涂胶工艺工程。因此气路的密封性决定样片是否能紧密贴合，在高速旋转下是否稳定吸附的关键。

现有密闭气路的机构中，下密封环结构仅仅采用凸起结构直接与电机平台硬连接，密封性会随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生。

发明内容

本发明提供了一种旋涂装置，解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。

本发明提供了一种旋涂装置，包括：电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部。

优选的，还包括：第一密封件，所述第一密封件设置在所述腔室的顶端；第二密封件，所述第二密封件设置在所述腔室的底端与所述弹性件之间。

优选的，所述第一密封件、第二密封件、腔室、弹性件均通过所述转动轴与所述电机固定连接。

优选的，所述第一密封件和所述第二密封件均为黄铜圈。

优选的，所述腔室的一侧壁上垂直向外延伸出一圆筒结构，且所述圆筒结构为L型结构，或，一字型结构。

优选的，所述样片托盘的中心位置处开设有一通孔，且所述样片托盘上以所述通孔为中心开设有多个半环形气路槽。

优选的，所述样片托盘上开设有一凹槽，且所述凹槽的宽度范围为1～2mm，其中，通过所述凹槽以使多个所述半环形气路槽均与所述通孔相连通。

优选的，所述样片托盘外侧边部位置处开设有一环形平台，且所述环形平台的宽度范围为2～4mm。

优选的，所述转盘上开设有两个气路通道，且，所述转盘上相对开设有两个平衡孔，其中，两个所述平衡孔之间的连线与两个所述气路通道的中心线相垂直，以使高速旋转时两个所述气路通道的动平衡与受力均匀。

优选的，所述弹性件为弹簧。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：