[发明专利]热介质的混合装置及冷却装置

权利要求书

1.一种冷却装置，以应用冷却循环的冷却通道和利用冷却水进行加热的加热通道为一对将彼此不同温度的热介质供给至混合装置，

其特征在于，

所述冷却通道， 将通过压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器的组合而冷却的热介质，经过第一热介质罐通过第一热介质循环泵而供给至所述混合装置，

所述加热通道，将通过热交换器和冷却水控制阀门以及加热用加热器加热的热介质，经过第二热介质罐通过第二热介质循环泵而供给至所述混合装置，

所述冷却通道的第一热介质罐和所述加热通道的第二热介质罐之间彼此连接，从而即使热介质水位差达到极限点，也不会发生溢出，

所述热介质罐之间设置有借由冷却水而冷却或加热的热交换器，从而最小化热冲击，

所述混合装置包括：

冷却通道阀门，连接于所述冷却通道而供给或回收热介质；

加热通道阀门，连接于所述加热通道而供给或回收热介质；以及

循环泵，设置于由朝向制造设备的供给线和来自所述制造设备的回收线而形成的闭环，

其中，所述混合装置将来自所述冷却通道和所述加热通道的热介质独立地或混合而供给至所述制造设备，并且，供给至所述制造设备的热介质的流量和压力借由所述循环泵而得到维持，温度借由所述各阀门的开启率而得到调整。

2.如权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，

在所述冷却通道和所述加热通道各自的供给线和回收线之间设置有旁通阀门，且通过调整所述旁通阀门的开启来将供给的热介质的压力维持在预定程度。

3.如权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，

在所述冷却通道阀门和所述加热通道阀门的各输出端之间设置有冷却控制温度传感器，

基于所述冷却控制温度传感器的测量温度控制所述冷却通道阀门。

4.如权利要求3所述的冷却装置，其特征在于，

在所述循环泵的输出端设置有加热控制温度传感器，

基于所述加热控制温度传感器的测量温度控制所述加热通道阀门。