[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

本发明提供一种检查装置及检查方法，考虑作为探针的接触目的地的电极端子的尺寸信息，使可动轴驱动部的动作速度可变，以缩短检查时间。本发明的检查装置具有多个可动探针，使各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触，以测定多个检查对象物间的电气特性，该检查装置具有：多个可动部，其支承各可动探针，使各可动探针在多个轴向上移动，从而将各可动探针定位在检查对象物的位置，使各可动探针与检查对象物接触；驱动部，其驱动使各可动探针移动的各可动部；以及驱动控制部，其根据作为各可动探针的下一个接触目的地的检查对象物的尺寸信息，控制使各可动探针移动的各可动部的动作速度。

技术领域

本发明涉及检查装置及检查方法，例如，能够适用于进行形成在印刷基板上的各布线的导通检查、绝缘检查的检查装置。

背景技术

使用了可动式探针的可动式触点检查装置被用于印刷基板的各布线的导通检查、绝缘检查等中。作为这样的可动式触点检查装置的例子，有飞针测试机(参照专利文献1)。

例如，将被检查基板放置在飞针测试机的载置台(工作台)上，在X轴方向上、Y轴方向上、Z轴方向上移动的可动式的多个探测器分别适当移动，从而可动式的各探针与被检查基板上的各测定点(电极端子)依次接触，并测定电气特性。为此，例如根据被检查基板的设计数据生成检查所需的各种检查数据。作为这样的检查数据之一，包含被检查基板上的各测定点(电极端子)的位置信息，可动轴驱动部根据各测定点的位置信息，驱动对各探针进行定位的可动轴(可动部)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平4-270973号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

但是，以往的可动式触点检查装置由于使各可动式的探针移动的可动轴的动作速度是固定的，因此存在检查时间也与被检查基板上的测定点的数量增加成比例地增加的问题。

另一方面，当使各探针移动的可动轴的动作速度变快时，探针的定位精度变得困难。特别是，在使探针与细微的电极端子接触时，各探针的定位精度会降低。

因此，需要一种检查装置及检查方法，其能够考虑作为探针的接触目的地的电极端子的尺寸信息，使可动轴驱动部的动作速度可变，以缩短检查时间。

[用于解决问题的技术手段]

为了解决上述问题，第1本发明的检查装置具有多个可动探针，使各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触，以测定多个检查对象物间的电气特性，该检查装置特征在于，具备：(1)多个可动部，其支承各可动探针，使各可动探针在多个轴向上移动，从而将各可动探针定位在检查对象物的位置，使各可动探针与检查对象物接触；(2)可动驱动部，其驱动使各可动探针移动的各可动部；以及(3)驱动控制部，其根据作为各可动探针的下一个接触目的地的检查对象物的尺寸信息，控制使各可动探针移动的各可动部的动作速度。

第2本发明的检查方法具有多个可动探针，使上述各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触，以测定多个检查对象物间的电气特性，该检查方法的特征在于，(1)多个可动部的每一个支承各可动探针，使各可动探针在多个轴向上移动，从而将各可动探针定位在检查对象物的位置，使各可动探针与上述检查对象物接触；(2)可动驱动部驱动使各可动探针移动的各可动部；以及(3)驱动控制部根据作为各可动探针的下一个接触目的地的检查对象物的尺寸信息，控制使各可动探针移动的各可动部的动作速度。

[发明的效果]

根据本发明，能够考虑作为探针的接触目的地的电极端子的尺寸信息，使可动轴驱动部的动作速度可变，以缩短检查时间。

附图说明

图1是表示实施方式的检查装置的功能性构成的框图。