[发明专利]基板保持装置

说明书

本发明提供一种基板保持装置，能够避免使装置整体大型化且高成本而将基板从基板保持架抬起。基板保持装置具备：保持基板(W)的基板保持架(3)；使基板保持架(3)旋转的旋转机构(10)；多个升降销(P)，在位于比基板保持架(3)的基板载置面(3a)靠下方处的退避位置(x)与从该基板载置面(3a)突出的突出位置(y)之间升降移动；及动力传递机构(20)，介于旋转机构(10)与升降销(P)之间设置，将旋转机构(10)的使基板保持架(3)旋转的动力变换为使升降销(P)在退避位置(x)与突出位置(y)之间移动的动力而向升降销(P)传递。

技术领域

本发明涉及用于离子束照射装置等的基板保持装置。

背景技术

在例如将离子束照射后的基板从被称为压板的基板保持架抬起时，如专利文献1所示，使用了构成为通过使多个销从基板的下方上升来抬起基板的多个位置的装置。

然而，在上述的结构中，如果为了使多个销上升而例如设置电动机等动力源，则装置整体变得大型化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012－524417号公报

发明内容

发明所要解决的课题

因此本发明为解决上述的问题而做出，其主要课题为能够避免装置整体大型化地将基板从基板保持架抬起。

用于解决课题的技术方案

即本发明的基板保持装置的特征在于，具备：基板保持架，对基板进行保持；旋转机构，使所述基板保持架旋转；多个升降销，在位于比所述基板保持架的基板载置面靠下方处的退避位置与从该基板载置面突出的突出位置之间升降移动；和动力传递机构，介于所述旋转机构与所述升降销之间设置，将所述旋转机构的使所述基板保持架旋转的动力变换为使所述升降销在所述退避位置与所述突出位置之间移动的动力而向所述升降销传递。

根据这样构成的基板保持装置，能够通过动力传递机构将例如用于调整扭转角等的现有的旋转机构的动力变换为使升降销移动的动力。

由此，能够不再需要用于使升降销移动的电动机等动力源，从而能够避免装置整体大型化地从基板保持架抬起基板。

优选的是，所述动力传递机构具备：一体旋转构件，安装于所述基板保持架而与该基板保持架一起旋转；相对旋转构件，能够绕所述一体旋转构件的旋转轴相对于该一体旋转构件相对地旋转；斜槽，设置于所述一体旋转构件和所述相对旋转构件中的一方；和滑块，设置于所述一体旋转构件和所述相对旋转构件中的另一方并在所述斜槽中滑动，并且与所述升降销一体地设置。

如果是这样的结构，由于在斜槽内滑动的滑块与升降销一体地设置，因此能够通过组入该动力传递机构而将旋转机构的动力简单地变换为使升降销移动的动力并传递。

优选的是，所述基板保持装置构成为所述基板保持架能够在倾倒状态和立起状态之间移动，其中，所述基板保持装置还具备传递状态切换机构，该传递状态切换机构在传递状态和非传递状态之间切换，所述传递状态是能够进行基于所述动力传递机构的向所述升降销的动力传递的状态，所述非传递状态是无法进行基于所述动力传递机构的向所述升降销的动力传递的状态，在所述基板保持架从所述倾倒状态移动为所述立起状态的情况下，所述传递状态切换机构从所述传递状态切换为所述非传递状态，在所述基板保持架从所述立起状态移动为所述倾倒状态的情况下，所述传递状态切换机构从所述非传递状态切换为所述传递状态。

如果是这样的结构，能够在使基板从基板保持架分离时，进行基于动力传递机构的向升降销的动力传递，并能够在进行向基板照射离子束等的处理时，不向升降销传递动力地进行已知的基板处理。

发明效果

根据这样构成的本发明，能够避免使装置整体大型化而从基板保持架抬起基板。