[发明专利]一种窄线宽可调谐激光器

权利要求书

1.一种窄线宽可调谐激光器，其特征在于，包括：波长锁定装置、第一半导体光放大器、激光器硅基外腔、通信光芯片、第二半导体光放大器和光纤耦合输出装置；

激光器硅基外腔产生的光束经过第一半导体光放大器反射回所述激光器硅基外腔形成光束震荡；

所述波长锁定装置用于对激光器硅基外腔产生的光束进行分光得到第一分光光束和第二分光光束，并根据第一分光光束和第二分光光束的光功率关系对激光器硅基外腔产生的光束进行波长锁定；

经过波长锁定的光束经过通信光芯片输出至第二半导体光放大器经过放大后由光纤耦合输出装置输出。

2.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述波长锁定装置包括：第一探测器、标准具、第一分光器、第一聚焦透镜和第二探测器；

所述激光器硅基外腔产生的光束经过第一聚焦透镜汇聚后输入至第一分光器，经过第一分光器透射的第一分光光束经过标准具后输入至第一探测器，所述第一探测器用于检测第一分光光束的光功率，经过第一分光器反射的第二分光光束反射至第二探测器，所述第二探测器用于检测第二分光光束的光功率，利用第一探测器和第二探测器的光电流关系反馈锁定波长。

3.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述光纤耦合输出装置包括：第二聚焦透镜、第二分光器、光隔离器、第三聚焦透镜、第三探测器和光纤；

经第二半导体光放大器放大的光束经过第二聚焦透镜汇聚后输入至第二分光器，经过第二分光器透射的第三分光光束经过光隔离器后输入至第三聚焦透镜，经过汇聚后输入至光纤作为窄线宽激光输出，经过第二分光器反射的第四分光光束反射至第三探测器，所述第三探测器用于检测第四分光光束的光功率用于反馈调节。

4.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述通信光芯片为硅基收发芯片或者III-V族电吸收调制器。

5.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述激光器硅基外腔通过两个微环滤波器实现激光器窄线宽光束输出以及波长锁定。

6.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述激光器硅基外腔通光波导与通信光芯片相连。

7.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述通信光芯片输出端贴合所述第二半导体光放大器的输入端。

8.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述第一半导体光放大器的波长锁定输出端涂覆增反膜，所述激光器硅基外腔的微环反射端涂增透膜。

9.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述第二半导体光放大器的两端面涂覆增透膜。