[发明专利]一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910785274.9 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110487450B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 郭传飞;黄思雅;朱胖 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | A61B5/0205 | 分类号： | A61B5/0205;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 触觉 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种柔性触觉传感器，其特征在于，包括工作电极和对电极，所述工作电极包括柔性电极以及柔性垫片层；
其中，所述柔性电极靠近所述柔性垫片层的一侧具有微纳结构，所述柔性垫片层具有通孔；
所述微纳结构为同一规格的高径比微柱；
所述高径比微柱的直径为5-20μm，高度为10-70μm；相邻两个所述高径比微柱之间的中心距为15-50μm。
2.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述高径比微柱的直径为10μm。
3.根据权利要求2所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述高径比微柱的高度为20-50μm。
4.根据权利要求3所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述高径比微柱的高度为30μm。
5.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，相邻两个所述高径比微柱之间的中心距为20μm。
6.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述微纳结构为微纳阵列结构。
7.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性电极的基板材料为柔性高分子材料，选自聚二甲基硅氧烷和/或离子凝胶。
8.根据权利要求7所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述基板的厚度为30-200μm。
9.根据权利要求8所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述基板的厚度为50-100μm。
10.根据权利要求9所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述基板的厚度为70μm。
11.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，在所述柔性垫片层上，所述通孔的孔密度为30％-60％。
12.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述通孔的形状选自三角形、圆形、正方形或正六边形中的任意一种或至少两种的组合。
13.根据权利要求12所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述通孔的形状为圆形。
14.根据权利要求13所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述圆形的直径为5-20mm。
15.根据权利要求14所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述圆形的直径为8-15mm。
16.根据权利要求15所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述圆形的直径为10mm。
17.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性垫片层为高分子薄膜层。
18.根据权利要求17所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述高分子薄膜选自聚碳酸酯薄膜、聚酰亚胺薄膜或聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜中的任意一种或至少两种的组合。
19.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性垫片层的厚度为15-75μm。
20.根据权利要求19所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性垫片层的厚度为20-50μm。
21.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性电极的表面具有导电镀层。
22.根据权利要求21所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述导电镀层的厚度为50-150nm。
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