[发明专利]固体激光器及其工作方法及激光雷达

权利要求书

1.一种固体激光器，其特征在于，包括：

泵浦光发射模块，用于发射泵浦光，所述泵浦光包括多路第一泵浦光，所述多路第一泵浦光方向一致且相互平行；

合束模块，用于接收所述泵浦光，并将所述泵浦光合束以形成合束泵浦光；

谐振模块，用于接收所述合束泵浦光并发射第一激光，所述谐振模块包括：谐振腔，所述谐振腔包括第一谐振部，所述合束泵浦光自所述第一谐振部透射至谐振腔内，以及第二谐振部，所述第一激光自所述第二谐振部发射；

增益介质，所述增益介质位于第一谐振部和第二谐振部之间。

2.根据权利要求1所述的固体激光器，其特征在于，所述泵浦光发射模块包括多个第一泵浦光发射模块，用于发射多路第一泵浦光；所述合束模块包括聚焦模块，用于聚焦所述泵浦光成为所述合束泵浦光；所述第一泵浦光发射模块包括：第一发射模块、第一转向模块以及位于所述第一发射模块与所述第一转向模块之间的第一准直模块，所述第一发射模块用于发射第一初始泵浦光，所述第一初始泵浦光方向一致且相互平行，所述第一准直模块用于准直所述第一初始泵浦光，所述第一转向模块用于将被准直的所述第一初始泵浦光转向为第一泵浦光。

3.根据权利要求2所述的固体激光器，其特征在于，所述谐振模块还包括：位于所述增益介质和所述第二谐振部之间的品质因数调节器。

4.根据权利要求3所述的固体激光器，其特征在于，所述品质因数调节器包括品质因数调节晶体，所述品质因数调节晶体为可饱和吸收体，且所述品质因数调节晶体具有相对的调节器第一面和调节器第二面；所述增益介质具有相对的增益介质第一面和增益介质第二面，所述增益介质第二面与所述调节器第二面直接键合或通过粘结层粘合。

5.根据权利要求4所述的固体激光器，其特征在于，所述第一谐振部包括位于增益介质第一面表面的第一介质膜；所述第二谐振部包括位于调节器第一面表面的第二介质膜。

6.根据权利要求2所述的固体激光器，其特征在于，所述泵浦光发射模块还包括：第二偏振泵浦光发射模块，用于发射多路第二偏振泵浦光，所述多路第二偏振泵浦光方向一致且互相平行；所述泵浦光还包括所述多路第二偏振泵浦光。

7.根据权利要求6所述的固体激光器，其特征在于，所述合束模块还包括偏振合束模块，用于在聚焦所述泵浦光之前，合束所述多路第一泵浦光和所述多路第二偏振泵浦光。

8.根据权利要求7所述的固体激光器，其特征在于，所述第二偏振泵浦光发射模块包括：多个第二泵浦光发射模块，用于发射多路第二泵浦光；所述第二泵浦光发射模块包括：第二发射模块、第二转向模块以及位于所述第二发射模块和所述第二转向模块之间的第二准直模块，所述第二发射模块用于发射第二初始泵浦光，所述第二准直模块用于准直所述第二初始泵浦光，所述第二转向模块用于将被准直的所述第二初始泵浦光转向为第二泵浦光；所述第二偏振泵浦光发射模块还包括：偏振模块，用于调节所述第二泵浦光的偏振方向成为第二初始偏振泵浦光；第三转向模块，用于将所述第二初始偏振泵浦光转向为第二偏振泵浦光。

9.根据权利要求2所述的固体激光器，其特征在于，还包括：金属壳体，所述金属壳体密封，所述泵浦发射模块、所述合束模块和所述谐振模块位于所述金属壳体内，且所述金属壳体还具有安装面，所述合束模块和所述谐振模块固定于所述安装面。

10.根据权利要求9所述的固体激光器，其特征在于，还包括：台阶组，所述台阶组固定于所述安装面，所述台阶组包括多个台阶部，在垂直于所述安装面的方向上，各所述台阶部的尺寸均不同，各所述第一泵浦光发射模块分别固定于各所述台阶部上。

11.根据权利要求9所述的固体激光器，其特征在于，所述金属壳体上具有第一贯通部，所述第一贯通部位于所述第一激光的光路上；所述固体激光器还包括窗口片，所述窗口片固定于所述金属壳体，且覆盖所述第一贯通部。