[发明专利]一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置在审
| 申请号： | 201910788099.9 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110402008A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 高跃生;王翔;杨军;沈志平;袁江文;代礼彬;欧阳昌伟;聂矗;夏锐;倪凯凯;梁烛;秦欣 | 申请（专利权）人： | 贵州正业龙腾新材料开发有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 商小川 |
| 地址： | 550005 贵州省贵阳市南明区*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气管 石英管 侧壁 切向 铜头 穿过 高频等离子体 等离子体焰 分配装置 冷却气体 上气管 边轴 焰炬 等离子体焰炬 气体流量计 石英管内壁 气流冲击 出气口 进气量 冷却气 扰动 管壁 下端 相切 冷却 保证 | ||
1.一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置，它包括包括上铜头（1），所述上铜头（1）和下铜头（2）螺纹连接，所述上铜头（1）和所述下铜头（2）为中空结构，中空结构内壁上设置有内螺纹，其特征在于：内石英管（3）外壁包裹保温石棉后卡接在所述上铜头（1）和所述下铜头（2）中空结构内壁的内螺纹上，外石英管（4）包裹保温石棉后卡接在所述下铜头（2）中空结构下端的内螺纹上；料气管（5）卡接在上铜头（1）中心，料气管（5）的出气口伸到所述内石英管（3）的下端；上气管a（6-1）和上气管b（6-2）穿过上铜头（1）的侧壁与内石英管（3）的外壁接触；边轴向气管a（7-1）和边轴向气管b（7-2）穿过下铜头（2）的侧壁与内石英管（3）外壁接触；下气管a（9-1）和下气管b（9-2）穿过下铜头（2）的侧壁与外石英管（4）外壁接触；边切向气管a（8-1）和边切向气管b（8-2）穿过下铜头（2）的侧壁与内石英管（3）外壁接触。
2.根据权利要求1所述的一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置，其特征在于：上气管a（6-1）和上气管b（6-2）的连线经过上铜头（1）的中心；边轴向气管a（7-1）和边轴向气管b（7-2）的连线经过下铜头（2）的中心；下气管a（9-1）和下气管b（9-2）的连线经过下铜头（2）的中心；边切向气管a（8-1）和边切向气管b（8-2）分别与内石英管（3）的管壁相切。
3.根据权利要求1所述的一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置，其特征在于：上铜头（1）和下铜头（2）的材质均为高纯铜。
4.根据权利要求1所述的一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置，其特征在于：内石英管（3）和外石英管（4）的管壁壁厚均为4mm~6mm。
5.根据权利要求1所述的一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置，其特征在于：边切向气管a（8-1）和边切向气管b（8-2）分别与边轴向气管b（7-2）平行。
6.根据权利要求1所述的一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置，其特征在于：料气管（5）的进气量为2~4m3/h；上气管a（6-1）和上气管b（6-2）的进气量分别为3~6m3/h；边轴向气管a（7-1）和边轴向气管b（7-2）的进气量分别为0~8m3/h，边切向气管a（8-1）和边切向气管b（8-2）的进气量分别为0~8m3/h，下气管a（9-1）和下气管b（9-2）的进气量大于10 m3/h。
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