[发明专利]硅片花篮的导片装置和导片方法

权利要求书

1.硅片花篮的导片装置，所述硅片花篮的内腔分隔出至少两个储片仓，各储片仓沿左右方向依次设置，各储片仓分别设有可逐层插放平置硅片的插槽架；其特征在于，所述导片装置包括：

支承硅片花篮、且可驱动硅片花篮左右平移的平移驱动装置，

支承平移驱动装置、且可驱动平移驱动装置垂直升降的升降驱动装置，

以及沿前后方向设置、且朝向硅片花篮的平置皮带传送带，该皮带传送带朝向硅片花篮的一端可前后伸缩，且皮带传送带可逐一伸入各储片仓中。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮的导片装置，其特征在于，所述平移驱动装置包括：平置载台，以及设于载台顶面、且相互平行的一对电动滑台；该对电动滑台沿左右方向设置；当硅片花篮置于该对电动滑台上，该对电动滑台可驱动硅片花篮左右平移。

3.根据权利要求2所述的硅片花篮的导片装置，其特征在于，所述升降驱动装置包括：顶端与载台底面连接的升降气缸。

4.硅片花篮的插片方法，所述硅片花篮的内腔分隔出至少两个储片仓，各储片仓沿左右方向依次设置，各储片仓分别设有可逐层插放平置硅片的插槽架；其特征在于，所述插片方法采用权利要求3所述的导片装置，包括如下步骤：

将空的硅片花篮置于一对电动滑台上，该对电动滑台驱动硅片花篮沿左右方向平移，使各储片仓依次与皮带传送带对位，且每次对位后执行单个储片仓的插片动作；

所述单个储片仓的插片动作包括如下步骤：当该储片仓与皮带传送带对位后，升降气缸调整硅片花篮的高度，使该储片仓的插槽架的顶端槽位与皮带传送带相配合，皮带传送带朝向硅片花篮的一端伸进该储片仓中，皮带传送带向插槽架逐片输送硅片，且升降气缸驱动插槽架逐层下移，使硅片逐层插放至插槽架中，当插槽架插满硅片，皮带传送带退出该储片仓；

当各储片仓的插槽架都插满硅片，即完成整个硅片花篮的插片。

5.硅片花篮的出片方法，所述硅片花篮的内腔分隔出至少两个储片仓，各储片仓沿左右方向依次设置，各储片仓分别设有可逐层插放平置硅片的插槽架；其特征在于，所述出片方法采用权利要求3所述的导片装置，包括如下步骤：

将各插槽架都插满硅片的硅片花篮置于一对电动滑台上，该对电动滑台驱动硅片花篮沿左右方向平移，使各储片仓依次与皮带传送带对位，且每次对位后执行单个储片仓的出片动作；

所述单个储片仓的出片动作包括如下步骤：当该储片仓与皮带传送带对位后，升降气缸调整硅片花篮的高度，使该储片仓的插槽架的底端槽位与皮带传送带相配合，皮带传送带朝向硅片花篮的一端伸进该储片仓中，升降气缸驱动插槽架逐层上移，且皮带传送带将插槽架中的硅片逐片输出，当插槽架中的硅片全部输出后，皮带传送带退出该储片仓；

当各插槽架中的硅片都被皮带传送带输出，即完成整个硅片花篮的出片。