[发明专利]原子力显微镜

权利要求书

1.一种原子力显微镜，其特征在于，包括：

晶圆夹取装置，用于固定晶圆，并使晶圆竖立；

具有探针的第一微悬臂和第二微悬臂，所述第一微悬臂和第二微悬臂用于在晶圆竖立时，通过探针分别对晶圆的正面和背面进行扫描；

第一位置检测装置和第二位置检测装置，分别用于检测第一微悬臂和第二微悬臂的偏移量，获得晶圆的正面和背面的形貌图像。

2.如权利要求1所述的原子力显微镜，其特征在于，所述晶圆夹取装置包括第一载台、位于第一载台上卡槽，所述晶圆固定在所述卡槽中。

3.如权利要求2所述的原子力显微镜，其特征在于，所述晶圆夹取装置还包括位于第一载台上的旋转单元，所述旋转单元用于驱动所述卡槽旋转，使得卡槽中固定的晶圆竖立。

4.如权利要求3所述的原子力显微镜，其特征在于，所述第一载台包括第一粗动台和第一精动台，所述第一精动台位于第一粗动台上，所述旋转装置位于第一精动台上。

5.如权利要求4所述的原子力显微镜，其特征在于，所述第一粗动台和第一精动台控制所述晶圆夹取装置上下前后移动，所述第一粗动台的移动范围大于所述第一精动台的移动范围。

6.如权利要求1所述的原子力显微镜，其特征在于，所述第一微悬臂和第二微悬臂分别固定在第二载台和第三载台上。

7.如权利要求6所述的原子力显微镜，其特征在于，所述第二载台包括第三粗动台和第四精动台，所述第四精动台位于第三粗动台上，所述第一微悬臂固定在第四精动台上，所述第三载台包括第五粗动台和第六精动台，所述第六精动台位于第五粗动台上，所述第二微悬臂固定在第六精动台上。

8.如权利要求7所述的原子力显微镜，其特征在于，第三粗动台和第四精动台控制所述第一微悬臂左右移动，所述第五粗动台和第六精动台控制所述第二微悬臂左右移动。

9.如权利要求6所述的原子力显微镜，其特征在于，第一位置检测装置和第二位置检测装置均包括光源和接收器，所述光源用于对第一微悬臂和第二微悬臂的具有探针的一端背面进行照射，所述接收器用于接收反射的光线。

10.如权利要求9所述的原子力显微镜，其特征在于，所述第一位置检测装置和第二位置检测装置均还包括光学单元，所述光学单元用于将光源发射的光线传输并照射在第一微悬臂和第二微悬臂的具有探针的一端背面，并将第一微悬臂和第二微悬臂背面反射回来的光线传输到接收器。

11.如权利要求9所述的原子力显微镜，其特征在于，所述光源为激光器，所述接收器为阵列感光二极管。

12.如权利要求9所述的原子力显微镜，其特征在于，所述原子力显微镜还包括第一反馈单元和第二反馈单元，所述第一反馈单元用于将第一位置检测装置中接收器获得的信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使第二载台中的第四精动台移动，以使得晶圆与第一微悬臂上的探针保持恒定的作用力；所述第二反馈单元用于将第二位置检测装置中接收器获得的信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使第三载台中的第六精动台移动，以使得晶圆与第二微悬臂上的探针保持恒定的作用力。

13.如权利要求1所述的原子力显微镜，其特征在于，还包括光学显微镜单元，所述光学显微镜单元用于对晶圆的表面进行观测。