[发明专利]一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构在审
| 申请号： | 201910789300.5 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110398521A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 郭德明;王磊;梁保权;罗玉军;聂元建;庞邦舜;李春;陈丝雨;张文文;胡明雪 | 申请（专利权）人： | 广西玉柴机器集团有限公司;广西优艾斯提传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 地址： | 537000 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮氧 敏感单元 凹陷槽 衬底 灵敏 传感器技术领域 传感器灵敏度 传感器结构 氮氧气体 不接触 灵敏度 热功耗 传感器 全向 发热 横跨 应用 | ||
1.一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，包括衬底(1)，所述衬底(1)设有至少一个凹陷槽(2)，各所述凹陷槽(2)上方设有横跨其两侧的氮氧敏感单元(3)，所述氮氧敏感单元(3)的两端连接所述衬底(1)顶部。
2.根据权利要求1所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述氮氧敏感单元(3)包括支撑芯(4)、将所述支撑芯(4)外围包裹的感应膜(5)。
3.根据权利要求2所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述支撑芯(4)包括由Al3O2材料制成的内芯(41)、将所述内芯(41)包裹的SiO2薄膜(42)。
4.根据权利要求2所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述感应膜(5)包括第一感应层(51)、将所述第一感应层(51)外围包裹的第二感应层(52)，所述第一感应层(51)的阻值大于所述第二感应层(52)的阻值。
5.根据权利要求4所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述第一感应层(51)的厚度为6～12μm，所述第一感应层(51)的材料为SnO2里面掺杂Zn，所述Zn的浓度为1～4％，所述SnO2和Zn的颗粒物直径为5～8nm。
6.根据权利要求4所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述第二感应层(52)的厚度为6～12μm，所述第二感应层(52)的材料为SnO2里面掺杂Pt，所述Pt的浓度为1～4％，所述SnO2和Pt的颗粒物直径为5～8nm。
7.根据权利要求1所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述氮氧敏感单元(3)的中部下垂于所述凹陷槽(2)的内腔中。
8.根据权利要求1所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述凹陷槽(2)为半球形的结构。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述衬底(1)的材料为NiCr。
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