[发明专利]金属-电介质滤光器、传感器设备及制造方法

权利要求书

1.一种传感器设备，包括：

第一传感器元件；

设置在所述第一传感器元件上的第一滤光器；

第二传感器元件；以及

设置在所述第二传感器元件上的第二滤光器，

所述第二滤光器以保护性覆盖所述第一滤光器的整个外围的方式在所述第一滤光器的倾斜的侧部上延伸，

其中，所述第一滤光器包括：

多个电介质层；以及

多个金属层，

其中，所述多个金属层中的每个金属层与所述多个电介质层中的至少两个电介质层交替堆叠并被所述多个电介质层中的至少两个电介质层围绕，

其中，所述多个金属层中的每个金属层具有被所述多个电介质层中的至少一个电介质层沿着所述金属层的整个外围保护性覆盖的斜切边缘，所述斜切边缘在所述第一滤光器的外围处沿着所述金属层的整个外围延伸，以及

其中，所述多个金属层相对于其上设置所述第一滤光器的基底的长度与任何其他金属层不邻近。

2.根据权利要求1所述的传感器设备，其中所述第二滤光器比所述第一滤光器在环境上更耐用。

3.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第二滤光器还在所述第一滤光器的不同的倾斜的侧部上延伸。

4.根据权利要求1所述的传感器设备，

其中，所述第一传感器元件和所述第一滤光器形成第一类型的光学传感器，以及

其中，所述第二传感器元件和所述第二滤光器形成第二类型的光学传感器。

5.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第一传感器元件和所述第一滤光器形成环境光传感器。

6.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第一滤光器是银-电介质明视觉滤光器或者银-电介质红外(IR)阻挡式滤光器。

7.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第二传感器元件和所述第二滤光器形成紫外线(UV)传感器。

8.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第二滤光器是铝-电介质紫外线(UV)滤光器、中心波长为220nm的滤光器或全电介质滤光器。

9.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第二传感器元件和所述第二滤光器形成接近度传感器。

10.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第二滤光器是近红外(IR)滤光器。

11.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第一传感器元件和所述第二传感器元件是光电二极管。

12.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述第一滤光器的外围包括金属层的斜切边缘。

13.一种传感器设备，包括：

第一传感器元件；

覆盖所述第一传感器元件的第一滤光器；

第二传感器元件；以及

覆盖所述第二传感器元件并围绕所述第一传感器元件的第二滤光器，且所述第二滤光器作为整体围绕所述第一滤光器的整个外围，

其中，所述第一滤光器包括：

多个电介质层；以及

多个金属层，

其中，所述多个金属层中的每个金属层与所述多个电介质层中的至少两个电介质层交替堆叠并被所述多个电介质层中的至少两个电介质层围绕，

其中，所述多个金属层中的每个金属层具有被所述多个电介质层中的至少一个电介质层沿着所述金属层的整个外围保护性覆盖的斜切边缘，所述斜切边缘在所述第一滤光器的外围处沿着所述金属层的整个外围延伸，以及

其中，所述多个金属层相对于其上设置所述第一滤光器的基底的长度与任何其他金属层不邻近。

14.根据权利要求13所述的传感器设备，其中，所述第二滤光器不覆盖所述第一传感器元件。