[发明专利]一种跑道式行波型直线超声电机以及单平台、双平台进给装置

权利要求书

1.一种跑道式行波型直线超声电机，包括定子组件和动子，前述的定子组件包括由上至下顺次叠加的摩擦材料、定子弹性体、压电陶瓷片和柔性印制板，其特征在于：

前述的定子弹性体呈椭圆形跑道状，包括两条互相平行的直线段，相邻直线段的端头通过圆弧段顺滑连接形成封闭结构，两个直线段、两个圆弧段均对称布设，且直线段的表面高于圆弧段的表面；

压电陶瓷片与定子弹性体匹配，同样呈椭圆形跑道状设置，压电陶瓷片表面分区极化；

前述的动子为悬臂梁结构，其悬设在定子弹性体的直线段上方；动子呈长条状设置，其与定子接触部分呈工字状设置，且动子与定子接触部分为工字状的横向部分。

2.根据权利要求1所述的跑道式行波型直线超声电机，其特征在于：在定子弹性体的椭圆形跑道状结构内设置配重结构，该配重结构可用于固定安装定子弹性体，配重结构与椭圆形跑道状结构之间安设柔性腹板；

在定子弹性体的椭圆形跑道状结构表面开设若干齿状结构。

3.根据权利要求2所述的跑道式行波型直线超声电机，其特征在于：在定子弹性体的椭圆形跑道状结构表面开设若干齿状结构，分为两种情况，

直线段与圆弧段表面均开设若干齿状结构；

或者仅在直线段表面开设若干齿状结构。

4.根据权利要求3所述的跑道式行波型直线超声电机，其特征在于：在定子弹性体直线段布设的若干齿状结构的表面粘贴摩擦材料。

5.根据权利要求1所述的跑道式行波型直线超声电机，其特征在于：压电陶瓷片呈与定子弹性体匹配的椭圆形跑道状，将压电陶瓷片分成若干分区，并进行极化；

当在压电陶瓷片的其中一个直线段上设置一个四分之一直线段波长长度的分区，此分区表面未镀银，与之对称的另一个直线段上设置三个四分之一直线段波长长度的分区，此三个分区表面镀银，三个四分之一直线段波长长度的分区的中间一个分区进行极化，另外两个分区未极化；

当在压电陶瓷片的其中一个圆弧段上设置一个四分之一圆弧段波长长度的分区，此分区表面未镀银，与之对称的另一个圆弧段上设置三个四分之一圆弧段波长长度的分区，此三个分区表面镀银，三个四分之一分区的中间一个分区进行极化，另外两个四分之一分区未极化；

在两个未极化分区对应的压电陶瓷片的两个侧壁表面均镀银，此时未极化分区的表面、底面以及侧壁形成导通。

6.一种基于跑道式行波型直线超声电机的单平台进给装置，包括底座、支撑板、工作台、滑轨组件，其特征在于：在底座上布设支撑板，定子组件安装在支撑板上，在底座上方布设工作台，工作台与底座相对的两侧分别安装滑轨组件，工作台与底座可滑动连接，在工作台与定子组件相对的位置安装一个动子，且动子工字状的横向部分与定子组件中定子弹性体的其中一个直线段表面接触；

支撑板与底座之间设有预压力调整垫片。

7.一种基于跑道式行波型直线超声电机的双平台进给装置，包括底座、支撑板、工作台、滑轨组件，其特征在于：在底座上布设支撑板，定子组件安装在支撑板上，在底座上方布设两个对称的工作台，每个工作台远离另一个工作台的一侧安装滑轨组件，使得工作台与底座可滑动连接；

在每个工作台与定子组件相对的位置分别安装动子，且动子工字状的横向部分分别与定子组件中定子弹性体的其中一个直线段表面接触；

在其中一个工作台与另一个工作台相邻的位置安装光栅尺支架，光栅尺支架上安装光栅编码器，光栅编码器位于定子弹性体两段直线段之间的上方位置，另一个工作台上安装光栅尺，光栅尺与光栅编码器相对布设；

支撑板与底座之间设有预压力调整垫片。