[发明专利]一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪

权利要求书

1.一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，包括进气及过滤组件(1)、气体分路计量组件(2)、光谱组件(3)、电化学组件(4)、冷镜微水组件(5)、数据处理组件(6)和总数据输出组件(7)，待测气体通过进气管路连接进气及过滤组件(1)，进气及过滤组件(1)连接气体分路计量组件(2)，气体分路计量组件(2)分别连接光谱组件(3)和冷镜微水组件(5)，所述光谱组件(3)连接电化学组件(4)，电化学组件(4)和冷镜微水组件(5)一起电连接于数据处理组件(6)，所述数据处理组件(6)电连接于总数据输出组件(7)，其中，

进气及过滤组件(1)过滤可能的大颗粒杂质，以免杂质对后续气路及检测组件产生破坏，进气及过滤组件(1)为物理过滤，对气体内各组分无任何影响，不影响组分分析数据；

气体分路计量组件(2)气路分为两路，一路为组分分析气路，一路为水分检测气路，每条气路单独计量气量；

样气在光谱组件(3)内，经双波段光线照射，检出CF4和预判其余组分含量；

光谱组件(3)之后的样气进入电化学组件(4)，如果样气含有某分解产物组分，则相应电化学传感器会输出对应的信号；

单独的一路样气经过冷镜微水组件(5)，在仪器控制下持续降温，直到由光学传感器检测到镜面结露，则当时温度为露点数据，根据不同露点对应不同含水量，得出含水量数据；

数据处理组件(6)和总数据输出组件(7)将各传感器和组件的数据进行分析处理并输出。

2.根据权利要求1所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述气体分路计量组件(2)包括成分计量通道和微水计量通道，成分计量通道与样气在光谱组件(3)连接，微水计量通道和冷镜微水组件(5)连接。

3.根据权利要求1所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述光谱组件(3)包括光源组件(31)、分光组件(32)、吸收组件(33)和检测组件A(34)，红外光源和紫外光源经过光源组件(31)的处理进入侧面的分光组件(32)，经过分光组件(32)的反射将红外光束和紫外光束投射到吸收组件(33)，吸收组件(33)的下方设置检测组件A(34)。

4.根据权利要求3所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述光源组件(31)包括反射镜A(311)、狭缝光栅A(312)、衍射光栅(313)和狭缝光栅B(314)；

所述分光组件(32)包括反射镜B(321)、半反射镜(322)、反射镜C(323)和反射镜D(324)；

所述吸收组件(33)内置吸收池(331)；

所述检测组件A(34)包括晶体滤镜A(341)、晶体滤镜B(342)、光电检测A(343)和光电检测B(344)。

5.根据权利要求1所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述电化学组件(4)包括气体分路和计量组件(41)、气体通道(42)、传感器阵列(43)和数据输出组件(44)，样气通道依次经过气体分路和计量组件(41)、气体通道(42)和传感器阵列(43)，最后经过数据输出组件(44)。

6.根据权利要求5所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述传感器阵列(43)现阶段预置10种，现装7种，三种传感器位置预留。

7.根据权利要求1所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述冷镜微水组件(5)由冷镜组件(51)和检测组件(52)组成。

8.根据权利要求7所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述冷镜组件(51)由组件基座(511)、半导体制冷片(512)、导热测温组件(513)和制冷镜面(514)组成，所述制冷镜面(514)粘贴在导热测温组件(513)上，导热测温组件(513)粘贴在半导体制冷片(512)上，半导体制冷片(512)设置在组件基座(511)上。

9.根据权利要求7所述的一种多功能SF6气体中分解产物各组分的综合分析仪，其特征在于，所述检测组件B(52)由照射光源(521)、均光组件(522)、光学结露检测组件(523)组成，均光组件(522)和光学结露检测组件(523)粘贴在一起，均光组件(522)的上方设置照射光源(521)。