[发明专利]一种含锆膜层的褪除液及使用方法在审
| 申请号： | 201910792203.1 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110616432A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 赵力民;谢伟娜;黄思琪;邬钰娴;吴秋琴 | 申请（专利权）人： | 广东药科大学 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 11470 北京精金石知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘先荣 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 除液 基件 锆膜 氧化剂 耦合剂 真空镀膜技术 浸入 清洗干燥 缓蚀剂 水配制 伤害 应用 | ||
1.一种含锆膜层的褪除液，其特征在于，包含氧化剂、缓蚀剂、耦合剂、水。
2.根据权利要求1所述的含锆膜层的褪除液，其特征在于，包含质量体积浓度200g/L-500g/L的氧化剂、40g/L-120g/L的耦合剂、20g/L-100g/L的缓蚀剂，其余为水。
3.根据权利要求1-2任一项所述的含锆膜层的褪除液，其特征在于，所述氧化剂为氟化氢铵、氟化氢钠、氟化氢钾中的一种或多种。
4.根据权利要求1-2任一项所述的含锆膜层的褪除液，其特征在于，所述缓蚀剂为尿素、硫脲中的一种或两种。
5.根据权利要求1-2任一项所述的含锆膜层的褪除液，其特征在于，所述耦合剂为三乙醇胺、二乙醇胺、二甲基乙醇胺中的一种或多种。
6.根据权利要求1-2任一项所述的含锆膜层的褪除液应用到除去基件表面含锆膜层的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将表面有含锆膜层的基材完全浸入上述含锆膜层的褪除液中；
(2)取出样品清洗并干燥。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述含锆膜层的基材为不锈钢基材。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述含锆膜层包括氮化锆膜、碳氮化锆膜、碳化锆膜、氧化锆膜。
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述浸泡时间为15分钟-30分钟；所述浸泡温度为23℃-52℃。
10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在步骤(2)中，所述的干燥方法包括晾干、烘干、吹干。
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