[发明专利]具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器

权利要求书

1.一种用于监测管内所容纳的流体的气泡的存在的感光力传感器，包括：

力感测设备，所述力感测设备被配置为设置在基板的表面上，其中所述力感测设备是感光的；

壳体，所述壳体被配置为设置在所述基板的所述表面的至少一部分上，其中所述壳体被配置为包封所述力感测设备，并且其中所述壳体限定孔，所述孔被配置为提供耦合接口；和

致动器，所述致动器被配置为部分地设置在所述壳体内且部分地设置在所述孔内，

其中所述致动器与所述力感测设备机械接触且是刚体，并且被配置为提供从所述壳体外部的光源到所述力感测设备的光路。

2.根据权利要求1所述的感光力传感器，其中所述力感测设备包括压阻式力感测设备和微机电系统(MEMS)力感测设备中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的感光力传感器，其中所述致动器是半透明或至少部分透明的，并且是至少半球形的球形件或透镜中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的感光力传感器，其中所述力感测设备被配置为提供至少一个输出信号，所述至少一个输出信号指示向所述力感测设备施加的机械力以及入射到所述力感测设备上的光特征。

5.根据权利要求1所述的感光力传感器，其中管的一部分耦合到所述耦合接口，所述管是耦合到泵的浮动管线。

6.一种用于监测管内所容纳的流体的气泡的存在的方法，所述方法包括：

处理力感测设备的输出信号以确定所述输出信号是否满足光特征阈值要求，

其中所述力感测设备是力传感器封装的一个元件，所述力传感器封装包括：

所述力感测设备，所述力感测设备被配置为设置在基板的表面上；

壳体，所述壳体被配置为设置在所述基板的所述表面的至少一部分上，其中所述壳体被配置为包封所述力感测设备，并且其中所述壳体限定孔，所述孔被配置为提供耦合接口；和

致动器，所述致动器被配置为部分地设置在所述壳体内且部分地设置在所述孔内，

其中所述致动器与所述力感测设备机械接触且是刚体，并且被配置为提供从所述壳体外部的光源到所述力感测设备的光路。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述管的一部分耦合到所述耦合接口，光源照明所述管内所容纳的所述流体，并且所述壳体外部的所述光源包括所述光源。

8.根据权利要求6所述的方法，还包括响应于确定所述输出信号满足所述光特征阈值要求，致使提供气泡警报。

9.根据权利要求6所述的方法，还包括处理所述输出信号或第一输出信号以确定向所述力感测设备施加的机械力是否满足机械力阈值要求。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括响应于确定所述输出信号或所述第一输出信号满足所述机械力阈值要求，致使提供堵塞警报。