[发明专利]激光退火机台的晶圆传送装置及其操作方法

权利要求书

1.一种激光退火机台的晶圆传送装置的操作方法，激光退火机台的晶圆传送装置包括：第一承载装置，用于承载放置晶圆的前端开口整合盒FOUP；第一机器人手臂，用于抓取晶圆；第一加载互锁装置，为晶圆传送的中转区，用于放置传送过程中的晶圆；缓冲区，缓冲区中包括第二机器人手臂，第二机器人手臂用于抓取晶圆；以及作业腔，为晶圆的反应腔体，其中，第一机器人手臂用于完成晶圆在第一承载装置与第一加载互锁装置之间的传送，第二机器人手臂用于完成晶圆在第一加载互锁装置与作业腔之间的传送，并第一加载互锁装置包括一第一抽真空管路及一第一通氮气管路，第一抽真空管路用于对第一加载互锁装置进行抽真空操作，第一通氮气管路用于向第一加载互锁装置中通入氮气，缓冲区包括一第二通氮气管路，第二通氮气管路用于向缓冲区中通入氮气，其特征在于，包括：

S1：第一机器人手臂将第一承载装置中的前端开口整合盒FOUP中的所有晶圆通过第一加载互锁装置的第一门传入第一加载互锁装置中，此时第一加载互锁装置的第一门打开，第二门关闭，传送完毕后关闭第一门，通过第一抽真空管路开始抽真空将第一加载互锁装置中的空气排除，当第一加载互锁装置中的真空度小于1.1pa时，通过第一通氮气管路向第一加载互锁装置中缓慢通入纯氮气，当第一加载互锁装置内的气压比外界气压大5Torr时，打开第一加载互锁装置第二门；

S2：第二机器人手臂将晶圆按顺序通过第二门从第一加载互锁装置中传送进入作业腔中，在作业腔中完成激光退火工艺后再由第二机器人手臂放回第一加载互锁装置中；以及

S3：当一整卡晶圆全部作业完成并全部传送至第一加载互锁装置中时，将激光退火工艺后的晶圆全部传送到第一承载装置中的前端开口整合盒FOUP中，并关闭第一加载互锁装置的第一门。

2.根据权利要求1所述的操作方法，其特征在于，在步骤S2中第二机器人手臂将晶圆按顺序在校准装置上对好角度后从第一加载互锁装置中传送进入作业腔中，在作业腔中完成激光退火工艺后再由第二机器人手臂放回第一加载互锁装置中的冷却站上冷却，冷却完成，再由第二机器人手臂放回第一加载互锁装置中。

3.根据权利要求1所述的操作方法，其特征在于，还包括步骤S4：在第一加载互锁装置中晶圆作业的时候，若第二承载装置上有前端开口整合盒FOUP，第一机器人手臂会同时将第二承载装置中的前端开口整合盒FOUP中的晶圆传送到第二加载互锁装置中进行抽真空再通氮气。

4.根据权利要求1所述的操作方法，其特征在于，在步骤S1中，当第一加载互锁装置中的真空度小于0.1pa时，通过第一通氮气管路向第一加载互锁装置中缓慢通入纯氮气。

5.根据权利要求1所述的操作方法，其特征在于，缓冲区通过位于缓冲区上的第二通氮气管路向缓冲区中一直通入氮气。