[发明专利]高精度全自动双面曝光机

权利要求书

1.一种高精度全自动双面曝光机，其特征在于：其包括

机架，用于支撑安装曝光机中的各个模块和系统；

上框系统，位于机架内部，包括为产品上表面曝光提供图案的上掩膜板；

对准系统，包括为产品下表面曝光提供图案的下掩膜板，对准系统用于实现上掩膜版和下掩膜版的精确对准，对准系统设于上框系统的下方；

进出料系统，包括进料系统和出料系统，用于对产品的自动进料和自动出料；

机械手系统，设于进出料系统上方，用于将待曝光的产品从进料系统中搬运到对准系统上，将曝光完成的产品从对准系统搬运到出料系统中；

视觉系统，位于对准系统下方，为对准系统提供对准所需的位移量；

曝光模块，包括上曝光模块和下曝光模块，上曝光模块安装在上框系统的上方，为产品上表面曝光提供光源，下曝光模块设于对准系统下方，为产品下表面曝光提供光源；

恒温恒湿模块，安装在机架上，用于控制曝光机内的温度和湿度；

控制系统，用于控制上框系统、对准系统、进出料系统、机械手系统、视觉系统、曝光模块和恒温恒湿模块的协调运行。

2.根据权利要求1所述的高精度全自动双面曝光机，其特征在于：所述的进料系统和出料系统分别包括第一支架、无杆气缸、滑台、滑轨、光电传感器、升降气缸和平台机构，所述的第一支架固定在机架上，滑轨安装在第一支架的两侧，无杆气缸安装在第一支架上，所述的滑台的两侧与滑轨滑动连接，滑台与无杆气缸传动连接；所述的升降气缸固定在第一支架上，光电传感器设于升降气缸一侧；所述的平台机构包括送料平台、步进电机、丝杆、直线光轴、缓冲支角和缓冲支角安装座；所述的送料平台底部设有连接轴，滑台顶部设有轴承，送料平台通过连接轴安装在轴承内，且与升降气缸连接；所述的步进电机、丝杆和直线光轴安装在送料平台的底部，步进电机与丝杆传动连接，直线光轴位于丝杆的两侧，缓冲支角安装座套设在直线光轴上且与丝杆连接，所述的缓冲支角穿过送料平台固定在缓冲支角安装座的两端。

3.根据权利要求1所述的高精度全自动双面曝光机，其特征在于：所述的机械手系统包括X轴搬运机构和两个搬运吸盘机构；所述的搬运吸盘机构安装在X轴搬运机构上；所述的X轴搬运机构包括X轴支架、两个直线电机定子、两个直线电机动子和X轴直线导轨，所述的X轴支架固定在机架上，X轴直线导轨安装在X轴支架上方，直线电机定子安装在X轴支架侧部，直线电机动子安装在直线电机定子上；所述的吸盘机构包括吸盘安装架、移动座、真空发生器、真空电磁阀和吸盘；所述的移动座与直线电机动子连接且与X轴直线导轨滑动连接；吸盘安装架固定在移动座上，吸盘固定在吸盘安装架底部，真空发生器通过真空电磁阀与吸盘连接。

4.根据权利要求1所述的高精度全自动双面曝光机，其特征在于：所述的上框系统包括第二支架、外框、内框、上框气缸、钢板压条、弹簧钢板、上掩膜版和上掩膜版压板；所述的第二支架位于外框的两侧且固定在机架上，上框气缸固定在第二支架上，上框气缸的缸杆与外框连接，内框设于外框内，内框的四周通过四片两两对称的弹簧钢板与外框连接，并通过钢板压条固定；所述的上掩膜版通过上掩膜版压板固定在内框的内部，外框的两侧通过转轴组件与第二支架连接。