[发明专利]分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置及方法

权利要求书

1.一种分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置，其特征在于，所述动电转换器烧结装置包括：

烧结成型组件，所述烧结成型组件包括底座(10)、环形结构体(20)和压接盖体(30)，所述环形结构体(20)具有环形内腔(20a)，所述环形内腔(20a)用于填充待烧结的电转换器微珠材料，所述环形结构体(20)设置在所述底座(10)的上部，所述压接盖体(30)包括环形盖(31)和压接圆柱件(32)，所述压接圆柱件(32)固定设置在所述环形盖(31)上，所述压接盖体(30)设置在所述环形结构体(20)的上部，所述压接圆柱件(32)与所述环形内腔(20a)相配合，所述压接圆柱件(32)压设在待烧结的电转换器微珠材料上以用于向所述环形内腔(20a)内的待烧结的电转换器微珠材料施加设定压力；

加热单元，所述烧结成型组件可放置在所述加热单元内，所述加热单元用于对所述烧结成型组件进行加热以将所述环形内腔(20a)内的待烧结的电转换器微珠材料烧结成动电转换器。

2.根据权利要求1所述的分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置，其特征在于，所述底座(10)具有定位凹槽，所述定位凹槽设置在所述底座(10)的与所述环形结构体(20)相贴合的表面，所述环形结构体(20)包括定位凸起，所述定位凸起设置在所述环形结构体(20)的与所述底座(10)相贴合的表面，所述定位凸起与所述定位凹槽相配合以实现所述环形结构体(20)与所述底座(10)之间的定位；或所述底座(10)包括定位凸起，所述定位凸起设置在所述底座(10)的与所述环形结构体(20)相贴合的表面，所述环形结构体(20)具有定位凹槽，所述定位凹槽设置在所述环形结构体(20)的与所述底座(10)相贴合的表面，所述定位凸起与所述定位凹槽相配合以实现所述环形结构体(20)与所述底座(10)之间的定位。

3.根据权利要求2所述的分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置，其特征在于，所述动电转换器烧结装置还包括第一紧固件和/或第二紧固件，所述第一紧固件用于实现所述底座(10)与所述环形结构体(20)之间的紧固连接，所述第二紧固件用于实现所述环形结构件与所述压接盖体(30)之间的紧固连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置，其特征在于，所述烧结成型组件的材质包括铝材。

5.根据权利要求4所述的分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置，其特征在于，所述加热单元包括高温烧结炉，所述待烧结的电转换器微珠材料包括玻璃微珠材料或陶瓷微珠材料。

6.一种分子电子型角加速度计动电转换器烧结方法，其特征在于，所述动电转换器烧结方法使用如权利要求1至5中任一项所述的分子电子型角加速度计动电转换器烧结装置。

7.根据权利要求6所述的分子电子型角加速度计动电转换器烧结方法，其特征在于，所述动电转换器烧结方法包括：

将底座(10)放置于平整试验平台上，将环形结构体(20)放置于所述底座(10)上；

根据待获取的动电转换器的结构尺寸将适量的待烧结的电转换器微珠材料填充至所述环形结构体(20)的环形内腔(20a)内；

将压接盖体(30)放置于所述环形结构体(20)上，所述压接盖体(30)的压接圆柱件(32)与所述环形内腔(20a)相配合，所述压接圆柱件(32)压设在待烧结的电转换器微珠材料以用于向所述环形内腔(20a)内的待烧结的电转换器微珠材料施加设定压力；

将组装完成的烧结成型组件放置于加热单元内，所述加热单元对所述烧结成型组件进行加热，加热设定时间后，所述加热单元停止加热并对所述烧结成型组件进行保温以完成角速度计动电转换器的烧结。